판매용 중고 CANON PLA 501 FA #9190949

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CANON PLA 501 FA
판매
ID: 9190949
웨이퍼 크기: 5"
Mask aligner, 5".
CANON PLA 501 FA는 마이크로 일렉트로닉 장치 및 기타 photolithography 응용 프로그램의 생산을 위해 설계된 고정밀 마스크 정렬 자입니다. 고급 나노 포지셔닝 시스템 (Nanopositioning System) 과 고해상도 스테퍼 모터 (Stepper Motor) 로 구동되며, 이를 통해 광석기 마스크를 기판에 빠르고 정확하게 정렬 할 수 있습니다. 정렬기는 x 방향과 y 방향 모두에서 +/-2õm 이상에 등록하는 기능과 함께 높은 정렬 정확도를 제공합니다. CANON PLA-501FA에는 조용하고 빠르게 움직이는 5 "스테이지가 장착되어 있습니다. 최대 6 "의 기판 크기를 지원할 수 있으며, 자동 기판 로더가 제공됩니다. 총 5.12 "의 시야가 있으며, 이는 정렬과 노출에 대한 인상적인 시야를 제공합니다." 라고 말합니다. 시야는 0.01äm의 읽기-아웃 정확도로 보완됩니다. PLA 501FA에는 비접촉, 접촉 및 간섭 정렬이 가능한 스루 렌즈 광학 시스템이 있습니다. 이를 통해 마스크 크기와 웨이퍼 크기, 가변 기판 두께 (variable substrate thickness) 의 차이가 있을 때에도 정확하게 정렬할 수 있습니다. PLA-501FA는 응용 프로그램에 따라 전방향성, 저강도 광원 또는 고도로 집중된 지점을 제공하는 최적화 된 조명 시스템을 제공합니다. 이를 통해 기판과 마스크를 더 잘 조명하고 정렬 정확도를 향상시킬 수 있습니다. 또한 마스크 정렬기 (Mask Aligner) 는 노출 작업 중에 발생할 수 있는 거시 정렬 오류를 줄이는 데 도움이 되는 자동 마스크 이동 시스템을 갖추고 있습니다. 캐논 플라-501 FA (CANON PLA-501 FA) 에는 특허 받은 재조정 (re-align) 기술이 탑재되어 있어 정렬 이미지를 나중에 사용할 수 있도록 저장할 수 있으므로 조정을 반복할 수 있습니다. 또한 수동 정렬 설정이 필요하지 않습니다. 마지막으로, 마스크 정렬기에는 고성능 플랫폼, 추가 조명기 등 다양한 액세서리가 제공됩니다. 전반적으로 PLA 501 FA는 신뢰성이 높은 고정밀 마스크 정렬기로, 마이크로 일렉트로닉스 생산이 훨씬 더 효율적이고 정확합니다. 광 정렬, 자동 기판 로딩, 최적화 조명 시스템 (Optimized Illumination System), 재조정 기술 (Re-Align Technology) 과 같은 고급 기능을 제공하여 사진 해설을 위한 훌륭한 옵션입니다.
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