판매용 중고 CANON MPA 600 Plus #9192664

CANON MPA 600 Plus 마스크 aligner는 반도체 장치 제작의 요구를 충족시키기 위해 특별히 설계된 전문가 등급의 사진 촬영 솔루션입니다. 이 도구는 높은 정밀도 정렬 및 오버레이를 위한 기능을 갖춘 빠른 패턴화를 제공합니다. MPA 600 Plus (MPA 600 Plus) 는 최고의 처리량과 폭넓은 노출 시간을 제공하여 복잡한 집적 회로 장치를 제작하는 데 이상적인 플랫폼을 제공합니다. CANON MPA 600 Plus 장비는 메인프레임, 마스크 스테이지, 웨이퍼 스테이지, 레티클 스테이지 및 드라이브 시스템으로 구성됩니다. 메인프레임에는 고해상도 이미징 머신, wafer handling hardware, software control 및 다양한 출력 시스템과 같은 장치의 전자 서브시스템이 있습니다. 마스크 스테이지는 레티클 스테이지의 정확한 정렬을 제공하며, 탁월한 정확도를 위해 8 노드 교정을 제공합니다. 웨이퍼 스테이지는 가변 속도 작동, 자동 높이 추적 및 공구 정확한 확대/축소를 허용합니다. 레티클 스테이지에는 마스크 및 웨이퍼를 정확하게 정렬하기위한 초고해상도 센서가 있습니다. 드라이브 도구는 자산 내의 모든 구성 요소에 전원을 공급합니다. MPA 600 Plus는 고해상도 이미징 기능, 고급 노출 관리 기능 및 직관적인 사용자 인터페이스를 제공합니다. 이 모델은 또한 자동 웨이퍼 처리, 고속 포커싱, 자동 노출 제어 (auto-exposure control) 와 같은 다양한 옵션 기능을 제공합니다. 이 장치는 또한 리소그래피, 도량형 및 증착을 포함한 여러 작업을 수행 할 수 있습니다. CANON MPA 600 Plus는 저렴한 CMOS 기판에서 초고속 갈륨 비소까지 다양한 기판과 호환됩니다. 모든 기능 (최적의 마스크 정렬, 자동화된 프로세스 제어, 빠른 처리량, 정확한 이미징) 을 통해 MPA 600 Plus는 가장 복잡한 집적 회로의 구성을 수용할 수 있습니다. CANON MPA 600 Plus는 또한 안전 카메라 모니터링, 안전 종료, 비상 정지 시스템, 보안 챔버 등 다양한 안전 프로토콜을 제공합니다. 즉, 모든 작업이 안전하고 안전한 환경에서 이루어지며, 장비는 OSHA 표준을 준수합니다. 전반적으로 MPA 600 Plus는 혁신적이고 강력한 사진 분석 시스템입니다. 이 장치는 처리량, 정확도, 안전성을 극대화할 수 있도록 설계되었으며, 가장 복잡하고 복잡한 기판 설계를 처리할 수 있습니다. 이 장치는 공정 (process) 시간을 크게 줄이고 집적 (integrated) 회로의 정확성과 신뢰성을 높이기 때문에 반도체 (semiconductor) 장치 제조에 귀중한 도구입니다.