판매용 중고 CANON MPA 500 Fab #9193702

캐논 MPA 500 Fab (CANON MPA 500 Fab) 은 다양한 웨이퍼 크기와 어플리케이션에서 장치를 최적으로 생산할 수 있도록 설계된 완전 자동화된 고출력 웨이퍼 레벨 마스크 정렬기입니다. 이 장비는 CANON 독점 MPA Fab 기술을 사용하여 리소그래피 (lithography) 와 매우 작은 피쳐 크기를 매우 정밀하게 조정할 수 있습니다. CANON MPA 500FAB는 탁월한 정확도로 높은 속도, 처리량을 제공하는 높은 처리량을 자랑합니다. 고급 FLA (Flying Laser Alignment System) 는 표준 마스킹 데이터로 레이저 강조 웨이퍼 기능을 빠르고 정확하게 정렬하고, IR 레이저 이미징 기술은 고해상도로 정렬 대상과 마스크 데이터를 정확하게 캡처합니다. 이 장치는 마스크 내에서 정렬 대상을 감지하고 시야 (field of view) 에서 불균일성을 보완하는 정교한 이미징 머신 (imaging machine) 을 특징으로합니다. 빠른 단일 샷 노출을 위해 멀티 스캔 (multi-scan) 옵션을 사용하여 도구를 구성할 수도 있습니다. 에셋은 또한, 기능 세부 사항을 정확하게 제어하는 ultrashort pulse duration laser diode 노출 시스템을 특징으로합니다. 조절 가능한 파면 전파는 레이저 노출의 정확한 제어 및 균일성을 보장합니다. MPA-500FAB는 또한 폴리 실리콘, ITO 및 유기 폴리머와 같은 다양한 재료에 대한 전기 영상 조건을 보장하는 전용 저항 코팅 모델을 제공합니다. 전반적으로 MPA 500-FAB 는 정확하고 정밀한 리소그래피 프로세스를 제공하도록 설계된 초고속 마스크 정렬기입니다. EMC 의 독보적인 기능 체계를 통해 다양한 Wafer 크기와 애플리케이션에서 효율적이고, 정확하게 디바이스를 생성할 수 있습니다. 이 장비는 기존 운영 라인에 쉽게 통합되어 생산성 및 비용 절감 효과를 높일 수 있습니다 (영문).