판매용 중고 BSL / BETA SQUARED LITHOGRAPHY PE 600 #9157842

BSL/BETA SQUARED LITHOGRAPHY PE 600은 고정밀 리소그래피를 위해 설계된 최첨단 마스크 정렬 장비입니다. 이 시스템은 큰 진공 및 압력 챔버와 결합 된 4 축 단계 주위에 구축됩니다. 고해상도 디지털 이미징 장치는 30 메가 픽셀 산업용 CCD 카메라와 정밀 렌즈를 결합하여 높은 수준의 정렬 정확도를 제공합니다. 이 기계는 30 nm (3 시그마) 의 정밀도로 0.1 미크론까지 기능을 정렬하고 해결할 수 있습니다. 또한, BSL PE 600에는 0.5C 이내로 온도를 제어 할 수있는 가열 된 정전기 척 (electrostatic chuck) 및 진공 척 (vacuum chuck) 이 장착되어 있으며, 이 도구는 시간 민감 공정 에칭 및 노출에 이상적입니다. 또한, 자산에는 자동으로 정렬하고 이미징 (imaging) 할 수 있는 소프트웨어가 장착되어 있어, 사용자가 정확하고 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다. BETA SQUARED LITHOGRAPHY PE 600은 반도체 제작의 요구 사항을 충족하도록 설계된 고급 마스크 정렬 자입니다. 고도로 다재다능한 설계를 통해 기존의 컨택트 인쇄 (Contact Printing), 근접 인쇄 (Intimity Printing) 및 기타 다양한 형태의 패턴 전송을 포함한 다양한 노출 옵션이 제공됩니다. 또한, 고급 이미징 및 정렬 모델을 사용하여 복잡한 구조를 고해상도 패턴화할 수 있습니다. 마지막으로, 장비의 고정밀 스테이지 (stage) 및 온도 조절 (temperature control) 기능은 에칭 및 증착 프로세스에 이상적인 선택입니다. PE 600은 매우 정밀하고 고급 기능으로, 정교한 마스크 정렬기 (mask aligner) 어플리케이션을 위한 완벽한 선택입니다.