판매용 중고 BSL / BETA SQUARED LITHOGRAPHY OS2000 #9174090
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판매
ID: 9174090
웨이퍼 크기: 4"-6"
빈티지: 2011
Mask aligner, 4"-6"
Specifications:
Resolution:
1.25 um lines and spaces, UV-4 (340-440nm)
1.0 um lines and spaces, UV-3 (300-350nm)
Machine to machine overlay:
+/- 0.25 um, 125 / 100 mm systems, 98% of data
+/-0.30 um, 150 mm systems, 98% of data
Machine to itself overlay: +/- 0.25 um, 98% of data
Throughput:
120 Wafers per hour, 125 / 100 mm systems
100 Wafers per hour, 150 mm systems
Depth of focus: +/- 6 um for 1.5 um lines and spaces
Focus stability: +/- 2.0 um over 6 days
Focus range: +/- 200 um, +/-450 um
Extended bellows chuck:
Partial Coherence: Variable, 0.37 to 0.86
Numerical Aperture: .167
Uniformity of Illumination: +/- 3.0%
Particle generation: <7 Particles per wafer pass (1.0 um or larger)
Pre alignment and first-level placement accuracy: +/-15 um
Footprint: 18.65 Square feet (1.732 square meter)
Electrical: 120 Vac at 10 Amps, or 240 Vac at 5 amps
Includes:
Several spare parts
User manuals
2011 vintage.
BSL/BETA SQUARED LITHOGRAPHY OS2000은 매우 정밀한 마이크로 가공을 위해 설계된 고급 프로세스 기반 마스크 정렬기입니다. 이 제품은 고급 광학과 정밀한 모션 제어 기술을 결합하여 포토레시스트 (photoresist) 레이어에 패턴을 만드는 이미지 형성 장비입니다. 이 시스템은 회로 기능 (예: 회선 너비, 전자 패키지) 을 정의하고 다양한 부품에 대해 인쇄 회로 기판 (printed circuit board) 을 만드는 데 사용됩니다. BSL OS2000 장치는 광, 동작 제어, 정밀 정렬 및 인체 공학 제어기의 4 가지 주요 하위 시스템으로 구성됩니다. 광학 도구 (optical tool) 는 photoresist 레이어에서 패턴화된 이미지를 생성하여 원하는 패턴을 생성하는 데 사용되는 두 개의 레이저 빔 (laser beam) 으로 구성됩니다. 모션 제어 에셋은 멀티 핀들 모터를 사용하여 레이저 빔을 정확한 위치에 배치합니다. 정확한 정렬 모델은 닫힌 루프 서보 (closed-loop servo) 를 사용하여 레이저 빔의 정확한 위치를 유지합니다. 이렇게 하면 패턴화된 이미지가 photoresist 레이어에 정확하게 생성됩니다. 인체 공학적 제어 장비는 사용자 편의성, 사용자 인터페이스, 인체 공학적 제어 (ergonomic control) 를 보장하도록 설계되었습니다. BETA SQUARED LITHOGRAPHY OS2000은 뛰어난 해상도와 정확도를 제공합니다. 최대 50nm의 패턴 해상도 (pattern resolution) 를 달성할 수 있으며, 미세한 조리개와 중요한 기능을 정확하게 재현할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 독창적 인 디자인에 대한 높은 충실도를 위해 높은 수준의 선형성을 제공합니다. 또한, 이 장치는 표준 가시 광선 (visible light) 에서 자외선 파장까지 다양한 에너지에서 작동 할 수 있으며, 조정 가능한 파장 범위를 갖습니다. 이 기계는 운영 품질 관리 및 처리량을 보장하는 반복 기능을 제공합니다. OS2000은 반도체 및 인쇄 회로 기판 제조에 이상적인 선택입니다. 최신 마이크로패브라이션 (microfabrication) 기술과 최고 수준의 정확도를 결합한 것으로, 설치와 사용이 간편합니다. 고급 자동화 기능을 통해 마스크 정렬기 (mask aligner) 작업과 관련된 비용과 시간을 줄일 수 있습니다. 또한 신뢰성이 높고 일관된 결과를 생성합니다.
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