판매용 중고 BROOKS AUTOMATION PRE-201B-CE #9169035

BROOKS AUTOMATION PRE-201B-CE 웨이퍼 핸들러 (Wafer Handler) 는 광범위한 웨이퍼 처리 작업을 실행할 수있는 안정성이 뛰어난 매우 정확한 웨이퍼 핸딩 장비입니다. 이 "시스템 '은 청소 환경 을 견디도록 설계 되었으며, 시간 당 최대 3 백 오십 개 의" 웨이퍼' 를 처리 할 수 있다. 이 장치에는 고객의 요구에 따라 최대 12 개의 CMOS 웨이퍼를 8 인치, 12 인치 또는 16 인치 직경으로 안전하게 저장하고 전송하도록 설계된 웨이퍼 홀더가 포함되어 있습니다. 광학 인코더 (optical encoder) 는 정확한 웨이퍼 전송을 위해 각 웨이퍼의 정확한 위치를 추적하는 데 사용됩니다. 웨이퍼 홀더 및 기타 부품은 스테인리스 스틸 인클로저 (stainless steel enclosure) 로 덮여 청소실 적합성이 향상되었습니다. PRE-201B-CE 웨이퍼 핸들러에는 다양한 작업을 수행 할 수있는 로봇 암 어셈블리가 포함되어 있습니다. 서보 모터 (Servo motor) 는 로봇에 전원을 공급하는 데 사용되며, 이는 정확한 웨이퍼 전송을 위해 360도 회전할 수있는 관절이 장착 된 2 개의 축을 따라 끝 이펙터를 이동할 수 있습니다. "로봇 '의 정확 한 움직임, 처리 중 의 효율성 및 정확성 을 극대화 하기 위하여 정확 한" 인코더' 도 포함 된다. 또한, 이 기계에는 대화식 그래픽 인터페이스 (interactive graphical interface) 가 포함되어 있어 연산자가 빠르고 쉽게 도구를 제어 할 수 있습니다. 이 인터페이스를 통해 운영자는 자산 활동을 보고 추적할 수 있으며, 이를 통해 장애/문제를 신속하게 파악할 수 있습니다. 안전 강화 (Enhanced Safety) 를 위해 비상 사태가 발생할 경우 모든 모델 활동을 중단 할 수있는 비상 정지 (Emergency Stop) 버튼도 포함됩니다. 또한 BROOKS AUTOMATION PRE-201B-CE Wafer Handler에는 각각 -20 ° C ~ 45 ° C 및 0-95% RH 범위의 온도 및 습도 매개 변수를 프로그래밍 할 수있는 통합 공기 캐비닛이 장착되어 있습니다. 웨이퍼 처리 환경. 결론적으로, PRE-201B-CE 웨이퍼 핸들러 (PRE-201B-CE Wafer Handler) 는 청소실 환경에서 광범위한 웨이퍼 처리 작업을 위해 효과적이고 신뢰할 수있는 장비입니다. 이 시스템에는 강력한 로봇 암 어셈블리 (robotic arm assembly), 정밀 인코더 (precise encoder), 대화형 그래픽 인터페이스 (interactive graphical interface) 및 통합 공기 캐비닛 (integrated air cabinet) 과 같은 다양한 기능이 장착되어 있어 모든 청소실에 강력하고 정확한 자산이 됩니다.