판매용 중고 GATAN 691 PIPS #9075091

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제조사
GATAN
모델
691 PIPS
ID: 9075091
Precision ion polishing system Ion source: Ion guns: (2) Penning ion guns Milling angle: +10i to -10i, (adjustable) Ion beam energy: 1.5 keV to 6 keV Beam diameter: 350 m FWHM at 5 keV to 800 m FWHM at 5 keV For broad beam guns Ion current density: 10mA/cm2 peak Beam alignment: Precision beam alignment Specimen stage: Sample size: 3 mm or 2.3 mm Mounting: Gatan patented DuoPost (standard) or Graphite holder (optional) Rotation: Variable from 1 to 6 rpm Beam modulation: Single or double sector for exceptional cross-sectioning Viewing: Binocular microscope: 40x or 80x Vacuum: Dry pumping system: Molecular drag pump Pressure: Base pressure: 5E-6 torr Operating pressure: 8E-5 torr Vacuum gauge: Penning type for main chamber Solid-state for backing pump Specimen airlock: GATAN Whisperlok Specimen exchange time: <30sec.
GATAN 691 PIPS는 nanofabrication 시설에 사용하도록 설계된 이온 밀링 장비입니다. 이온 밀링 (Ion milling) 은 이온 빔 (ion beam) 을 사용하여 샘플 표면에서 재료가 제거되는 프로세스로, 일반적으로 나노 미터 레벨 해상도로 피쳐를 생성하기위한 일련의 단계의 일부로 사용됩니다. 이 특정 시스템은 전자 현미경, 이미징 및 분석 계측 제조업체 인 GATAN, Inc. (GATAN, Inc.) 가 개발하고 제조했습니다. 691 PIPS는 처리량이 많은 일괄 처리 어플리케이션에 적합한 사용자 친화적인 장치입니다. 많은 샘플 마운트 장치 (sample mounted device) 가 있는 단계 밀링 (mill stage) 에 적합하며, 하나의 모션에 5 열 샘플을 배치하거나 일련의 단계에서 단일 샘플을 배치할 수 있습니다. 이 기계는 자동 컨트롤러를 사용하여 최대 8 개의 이온 빔 건을 동시에 관리하여 빔 전류 (이온 밀링 전류 범위 0 ~ 15 백만) 를 쉽게 조정하고 빔 각도를 조정할 수 있습니다. 또한, 이 도구를 사용하면 샘플 로드, 언로드, 샘플 ID 및 정확한 빔 패턴 (필요한 특정 매개변수와 함께) 을 자동화할 수 있습니다. GATAN 691 PIPS는 광범위한 현장 검사를 제공하여 이온 밀링 작업 중 정확성과 재현성을 더욱 보장합니다. 시각 검사 (표면 특징 또는 부족), 광학 현미경 (밀링 프로세스 전 및 후 샘플 표면 검토), SEM (Secondary Electron Microscopy) 및 SEM (Scanning Electron Microscopy) 을 포함한 현장 검사로 밀링 표면의 추가 분석. 자산 자체에는 견고한 진공실, 샘플 안정성이 향상된 최적화 된 샘플 스테이지, 샘플 스테이지의 정확한 위치를위한 조절 가능한 스테퍼 모터, XYZ 기계식 스캐너, 디지털 챔버 컨트롤러, 자동 컨트롤러, 자동 정렬 모델, 다양한 요구 사항을 충족하는 다양한 이온 밀링 건. 이 장비는 샘플 분석 용 광학 포트, 이온 오염 모니터링 시스템, 더 빠른 질화물 에칭 및 표면 청소를위한 가스 전달 장치 (gas delivery unit) 로 설계되었습니다. 진공 경보기, 비활성 가스 처리 시스템, 자외선 (UV) 오염 제거 등 다양한 안전 및 공정 제어 기능을 사용할 수 있습니다. 또한 691 PIPS에는 진단 유틸리티가 장착되어 있어 발생할 수 있는 문제 해결에 도움이 됩니다. GATAN 691 PIPS는 nanofabrication 응용 프로그램에 이상적인 선택으로 간주되며, 탁월한 정확성, 반복 가능성 및 사용 편의성을 제공합니다. 자동 (automated) 기능은 제조 프로세스를 단순화하며, 다양한 현장 검사를 통해 정확성이 보장됩니다.
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