판매용 중고 COMMONWEALTH SCIENTIFIC / VEECO RIBE #9065069

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ID: 9065069
빈티지: 1989
CAIBE System Reactive ion beam etching Chemical assisted ion beam etching LEYBOLD TMP 1500C Turbo pump LEYBOLD D65BCS Mechanical vacuum pump Kaufman ion source: 16cm Pyrolitic graphite ion optics - RIBE Model 8377 stage Drichuk 150mm substrates - CAIBE IBS-600 Power supply Voltage: 2000eV Ion beam currents to 600mA GE Series 90-30 vacuum Process control Simplicity 90-ADS operator interface (4) Gas control channels (upgradable to 6) CAIBE Chamber power supply: Defective Main computer control: Defective 1989 vintage.
커먼 웰스 사이언티픽/베코 리브 (COMMONWEALTH SCIENTIFIC/VEECO RIBE) 는 표면 층을 제거하고 높은 깊이와 뛰어난 균일성을 가진 VEECO RIBE 구조를 만드는 데 사용되는 이온 밀링 장비입니다. 이 시스템에는 가변 에너지 증착을 갖춘 고급 솔리드 스테이트 증착 SEM/EDS와 고속 제어 능력을 갖춘 4 개의 축이 있습니다. SEM/EDS 소스는 요청에 따라 선택 가능한 다양한 에너지로 이온 폭격을 생성하도록 설계되었습니다. COMMONWEALTH SCIENTIFIC RIBE 장치는 컨트롤 박스, 진공 챔버, 진공 펌프, 빔 라인, 전원 공급 장치 및 빔 건으로 구성됩니다. 제어 (Control) 상자에는 원하는 빔 에너지 (Beam Energy) 및 모양에 대한 매개변수를 설정할 수 있는 디스플레이 패널과 챔버 (Chamber) 내에서 원하는 샘플의 위치를 설정할 수 있는 디스플레이 패널이 있습니다. 진공 챔버 (vacuum chamber) 는 이온 밀링 프로세스에 깨끗한 환경을 제공 할 수 있으며, 10-4mbar의 정확도로 최적의 압력 및 진공 수준을 유지합니다. "빔 '선 은" 이온' 광선 에 필요 한 가속도 와 초점 을 맞추고, 전원 공급 장치 는 사용 된 전기 "빔 '을 생성 하는 데 사용 된다. 빔 건 (beam gun) 은 이온 소스 역할을하여 밀링에 사용되는 이온을 제공합니다. RIBE는 미크론 스케일 빔 정렬 (micron-scale beam alignment), 가변 에너지 증착 (variable energy deposition), 밀링 성능 향상을 위해 최적화된 프로세스 (optimized process) 와 같은 고급 기능을 갖추고 있습니다. 기계는 또한 빔의 횡단면 (cross section) 크기를 변화시킬 수 있으며, 표면 구조가 다양한 재료의 프로세스를 더욱 최적화 할 수 있습니다. 또한, 플라즈마 챔버 (plasma chamber) 와 고성능 옵틱 (optic) 은 증착 과정의 정확도를 극대화하는 기능을 제공합니다. 결론적으로 COMMONWEALTH SCIENTIFIC/VEECO RIBE는 높은 깊이 프로파일과 균일성을 가진 VEECO RIBE 구조를 만드는 고급 이온 밀링 도구입니다. 밀링 성능 향상을 위한 최적화된 설계, 빔 크기 (beam size) 와 에너지 (energy) 를 원하는 결과에 맞게 조정할 수 있는 기능을 갖추고 있습니다. 에셋에는 컨트롤 박스, 진공실, 빔 라인, 전원 공급 장치 및 빔 건 (모두 부드럽고 효율적인 밀링 공정에 최적화) 이 포함됩니다.
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