판매용 중고 EATON NOVA / AXCELIS NV 10-160 #149571

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ID: 149571
High current ion implanters, 4"-6", missing parts 160 kV Includes: (2) Disks (1) Complete Ion Source (2) Cryo 10 (1) Diffusion Pump (3) Mechanical Pumps Computer and Custom Tables Spare assemblies Does not includes AT-4 loader De-installed.
EATON NOVA/AXCELIS NV 10-160은 다양한 재료를 다양한 기판 및 기타 표면에 이식하도록 설계된 고급 이온 임플랜터 및 프로세스 모니터입니다. 다양한 임플란트 (Implant) 조건에서 정확하고 안정적인 데이터를 제공하고 일관된 임플란트 (Implant) 품질을 보장할 수 있습니다. 장비는 이온 소스 (ion source), 전원 공급 장치 (power supply) 및 모니터 (monitor) 로 구성되며, 이는 사용자에게 포괄적인 이온 빔 처리 솔루션을 제공합니다. 이온 임플란터는 AC/DC 공급 장치로 구동되며, 이는 0 ~ 10kV의 다양한 기능을 제공합니다. 이것은 특허를받은 "충전 중화 시스템 (Charge Neutralization System)" 과 결합되어, 이식 후 기판에 의도하지 않은 정전기가 남지 않도록 보장하여 결함 또는 재료 잔기의 위험을 감소시킵니다. 이 장치에는 고압 아르곤 챔버 (argon chamber) 가 장착되어 있으며, 임플란트 용량이 높고 균일성이 향상됩니다. 모니터는 실시간 이식 (implantation) 매개변수를 제공하도록 설계되었으며, 최대 분 이식 정보를 표시할 수 있습니다. 따라서 임플란트 프로세스를 빠르고 효과적으로 최적화할 수 있습니다. 또한, 모니터는 SPC (Statistical Process Control) 머신과 통합되어 있으며, 시간이 지남에 따라 결과를 기록하여 사용자가 장기적인 추세를 이해하고 그에 따라 조정할 수 있습니다. AXCELIS NV10-160 은 시장에서 가장 발전된 이온 임플랜터 및 프로세스 모니터 중 하나입니다. 이식 (implantation) 프로세스에 대한 탁월한 제어 기능을 제공하여 일관되고 안정적인 결과를 보장합니다. 이 도구를 프로세스에 구현하면 결함 발생률을 낮추는 데 도움이 되며, 결과적으로 생산성 (production) 과 비용 절감 (cost savings) 이 향상됩니다.
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