판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Solion XP #9171473

AMAT/APPLIED MATERIALS Solion XP는 프로세스 제어를 개선하고 보다 효율적인 임플랜테이션을 가능하게 하는 이온 임플랜터 및 모니터입니다. 특허를받은 와이드 스캐닝 (wide-scanning) 수평 마그네트론 이온 소스를 사용하여 전체 임플란트 범위에서 안정적인 출력 범위를 유지하여 mroe 일관된 용량 제어를 제공합니다. AMAT Solion XP는 다중 고갈 및 고용량 시스템뿐만 아니라 지속적인 가변량 용량 애플리케이션에 이상적입니다. 이 장비는 또한 다수의 이온 용량 (ion dose) 응용 프로그램을 허용하여 정확한 용량 속도와 균일성을 허용합니다. APPLIED MATERIALS Solion XP의 자동 제어 기능에는 빔 품질, 오염 수준, 빔 프로파일 등 빔 특성을 평가하기위한 빔 특성 모니터가 포함됩니다. 빔 전류 모니터링 시스템을 사용하면 0.2 나노-암퍼/cm2 (nano-Ampers/cm2) 에서 더 높은 전류까지 비율로 이식 할 때 임플란트 복용량을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이러한 센서를 사용하여 Solion XP는 디플렉터 설정, 빔 전류, 빔-방출 강도 등의 빔 매개변수 세트를 자동으로 컴파일할 수 있습니다. 이온 임플란터는 고급 빔 스위핑 장치 및 다중 축 디플렉터를 사용하여 균일 성을 향상시킵니다. 안전성 향상을 위해 AMAT/APPLIED MATERIALS Solion XP는 비상 정지 (Emergency Stop) 및 Fail-Safe 기계를 사용하여 비상 사태가 발생할 경우 빔을 차단합니다. 또한 오염 수준을 줄이는 데 도움이되는 내부 진공 펌프가 있습니다. 추가 보안 기능으로, AMAT Solion XP에는 캐비닛이 열리면 빔을 차단하는 Optical Interlock Tool이 포함되어 있습니다. APPLIED MATERIALS Solion XP에는 PID 제어 히터, 자동 0 압력 조절기 및 온도 컨트롤러를 포함한 모든 범위의 자동 온도 및 압력 제어 시스템이 포함되어 있습니다. 가스-흐름 제어 (gas-flow control) 자산은 무거운 원소를 이식할 때 정밀도가 향상되고 확장 된 임플란트 시간에 걸쳐 빔을 유지합니다. 이온 이식 기능 외에도, Solion XP에는 프로세스 제어 및 생산성을 더욱 향상시키는 추가 기능이 포함되어 있습니다. 핵 모니터링 모델은 방사선 차폐 및 안전 메커니즘과 통합되어 저에너지 -x- 선 방사선을 감지합니다. 또한 AMAT/APPLIED MATERIALS Solion XP는 챔버 컴포넌트의 성능을 평가하고 임플란트 품질과 균일성을 평가하는 진단 기능을 제공합니다. 빔 모니터링 시스템과 밀접하게 결합된 RF 모니터링 장비는 이식 에너지 수준을 모니터링하고, 실시간 데이터 로깅 시스템과 일괄 메모리 기록 장치 (batch-memory-recording unit) 는 모든 이식 매개변수가 정확하게 기록되도록 합니다. 전반적으로, AMAT Solion XP의 고급 기능은 이온 이식 중 용량 조절, 균일성, 안전성을 향상시키는 데 이상적인 선택입니다.