판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Solion XP #9171472

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ID: 9171472
빈티지: 2015
Phosphorus ion implantation system 2015 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Solion XP는 다양한 재료를 빠르고 정확하게 처리 할 수있는 고급 이온 임플랜터 및 모니터입니다. AMAT Solion XP는 처리 속도와 정확도를 높이고 높은 수준의 자동화를 제공함으로써 AMAT 플래그십 이온 임플랜터 (Solion 200) 의 성공을 기반으로합니다. APPLIED MATERIALS Solion XP는 금속, 플라스틱 및 반도체를 포함한 다양한 재료를 처리 할 수 있습니다. 이 장비는 효율적이고 일관된 재료 처리를 위해 멀티 챔버 개념을 사용합니다. 프로세스의 첫 번째 단계는 로드 챔버 (load chamber) 에서 이루어지며, 여기서 재료가 시스템에 로드됩니다. 그 다음 에 그 물질 을 "오븐 '방 으로 옮기는 데 집중 된" 이온' 광선 을 사용 하는 전하 교환 "챔버 '로 옮긴다. 그런 다음, 오븐 챔버 (oven chamber) 를 사용하여 재료를 가열하여 임플란트 층을 형성합니다. 일단 "임플란트 '층 이 형성 되면, 재료 는 이온" 비온' 이 투여 된 용량 을 전달 하는 이식 "챔버 '로 운반 된다. 이 장치는 프로세스 전체에서 임플란트 레이어의 용량과 두께를 모니터링합니다. 피드백 (feedback) 은 온라인 디스플레이 패널을 통해 제공되며, 재료 및 두께 요구 사항에 따라 프로세스 레시피를 조정할 수 있습니다. Solion XP는 매우 자동화되어 있으며, 사용자는 네트워크 설정을 사용하여 원격으로 데이터를 입력할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Solion XP는 고해상도 에너지 분석기를 갖춘 이온 소스를 특징으로합니다. 이렇게 하면 쉽게 재료를 추적할 수 있는 정확성과 안정성을 얻을 수 있으며, 프로세스 결과도 향상됩니다. 빔 포커스 변화를 줄이고 균일 한 이식 (implantation) 을 보장하기 위해 빔 래스터링 장치도 사용할 수 있습니다. 또한 웨이퍼 셔틀 머신 (wafer shuttle machine) 을 사용하면 서로 다른 웨이퍼 사이를 쉽게 전환하여 빠르고 효율적으로 처리 할 수 있습니다. 안전 측면에서 AMAT Solion XP에는 안전 도구가 내장되어 있습니다. 이 자산은 사용자 및 모델을 보호하기 위해 설계된 전자 기계 연동 (electromechanical interlock) 및 전자 잠금 시스템 (electronic lockout system) 을 사용합니다. 또한 APPLIED MATERIALS 솔리온 XP (APPLIED MATERIALS Solion XP) 는 여러 산업 표준에 의해 인증 된 장비의 깨끗한 챔버를 사용하여 낮은 수준의 가스 외 가스를 충족하도록 테스트되었습니다. 전반적으로, 솔리온 XP (Solion XP) 는 다양한 어플리케이션에 적합한 고급 이온 임플랜터 및 모니터입니다. 고해상도 에너지 분석기, 프로세스 결과의 정확성, 전반적인 안전성을 향상시킨 AMAT/APPLIED MATERIALS Solion XP는 탁월한 제어 및 성능을 제공하는 안정적이고 효율적인 시스템입니다.
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