판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum X Plus #9194446

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AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum X Plus
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ID: 9194446
High current implanter system.
AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum X Plus (AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum X Plus) 는 장치 제조에서 가장 까다로운 어플리케이션의 처리량과 정확성을 향상시키기 위해 설계된 차세대 이온 임플란테이션 장비입니다. 고효율 이식 엔진을 사용하는 AMAT Quantum X Plus는 이온 궤적에 대한 빠르고 정확한 경험 기반 예측을 제공하여 고급 장치 아키텍처에서 더 나은 충전 상태 (charge-state) 배포를 가능하게 합니다. APPLIED MATERIALS Quantum X Plus는 향상된 프로세스 챔버 수준의 신뢰성을 확보하고 더 높은 강도를 제공하여 작은 게이트 폭으로 더 나은 결과를 얻음으로써 이전 모델인 양자 (Quantum) 와 양자 II (Quantum II) 의 성공을 기반으로합니다. 이 시스템은 유연성과 정밀성을 염두에 두고 설계되었으며, 운영자가 프로세스 매개변수를 더욱 최적화하여 차세대 반도체 (semiconductor) 디바이스를 제작할 수 있도록 합니다. Quantum X Plus (Quantum X Plus) 는 모노 에너지 (mono-energetic) 와 치르프 (chirped) 빔을 모두 갖춘 고급 듀얼 빔 장치를 사용하여 균일 한 용량 속도 또는 원하는 프로파일을 유지하면서 에너지 및 용량을 제어할 수 있습니다. 이 기계는 최대 350 KeV의 에너지에서 작동 할 수 있으며 100 ~ 2000 개의 양성자 빔 전류를 갖습니다. 최대 11 개의 기울기 축 단계와 8 개의 기울기 반환 축 단계로 복잡한 용량 프로파일을 도구에 쉽게 프로그래밍 할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum X Plus에는 초기 충전에 관계없이 기판의 모든 지점에서 이온의 균일 한 증착을 보장하기 위해 충전 기판 바이어싱 에셋이 있습니다. 이 모델에는 크리오겐이없는 수냉식 크리오 챔버도 장착되어 있습니다. 이 고급 챔버 (Advanced Chamber) 는 컴포넌트의 크기와 수를 모두 줄여 실제 임플란터 챔버를 위한 귀중한 공간을 절약합니다. 또한, 다중 축 이온-보조 노즐은 미리 정의 된 이온을 추가하며, 향상된 제어 작업을 위해 설계되었습니다. 이 장비에는 정교한 모니터와 제어 시스템도 함께 제공됩니다. AMAT Quantum X Plus 모니터는 실시간으로 데이터를 수집할 수 있으므로 진행 상황을 추적하고, 가능한 최단 시간 안에 문제를 해결할 수 있습니다. 이 모니터는 또한 엔드프레임 모니터링, 압력 프로파일, 유체 관리 등의 기능을 제공합니다. APPLIED MATERIALS Quantum X Plus (APPLIED Quantum X Plus) 에는 센서 배열도 장착되어 있으므로 문제가 발생하기 전에 잠재적 문제를 감지 할 수 있습니다. 또한, 시스템의 제어 시스템은 웨이퍼 매핑 (wafer mapping) 및 프로세스 최적화를 위한 강력한 프로세스 제어 및 소프트웨어를 제공합니다. 이러한 모든 발전으로 인해 Quantum X Plus는 장치 제작 프로세스를 개선하기위한 강력하고 신뢰할 수있는 도구로 만들어졌습니다. 교체/유지 보수 작업을 간소화하여 다운타임을 크게 줄이고, 생산성을 높이고, 프로세스 유연성을 높이고, TCO (소유 비용) 를 절감할 수 있습니다. 이 제품은 장치 제조 (device manufacturing) 를 위한 최고의 장치이며, 고급 장치 제조 애플리케이션의 필수 요소입니다.
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