판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum X Plus #9172233

AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum X Plus
ID: 9172233
웨이퍼 크기: 12"
High current ion implanter system, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum X Plus는 반도체 장치 성능을 최적화하기 위해 설계된 고급 이온 임플랜터 및 모니터입니다. 특히 반도체 기판을 엔지니어링하여 회로 성능을 극대화합니다. AMAT Quantum X Plus (AMAT Quantum X Plus) 에는 이식 프로세스의 뛰어난 성능과 제어가 가능한 많은 기능이 포함되어 있습니다. 이 장비에는 최대 240 keV의 에너지를 달성 할 수있는 완전 통합 입자 가속기 (fully-integrated particle accelerator) 가 포함되어 있으며, 높은 정확도로 실리콘 기판에 이식 할 수 있습니다. 또한, 이 시스템은 최적의 임플란트 성능을 위해 효율적이고 정확한 코어 정렬을 가능하게 하는 통합 정밀 광 정렬 (precision optical alignment) 및 캐리어 언로드 장치 (carrier unloading unit) 로 설계되었습니다. 이 기계는 정확한 이식 각도를 측정하는 AMAT Implant Sentinel II 도구와 통합 될 수 있습니다. 이 도구는 다양한 마스크 (mask) 와 높은 수준의 정밀도, 정확도 (implantation) 를 활용하여 완벽한 정렬과 임플란테이션을 보장할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS Quantum X Plus는 또한 모든 중요한 임플란트 매개변수를 실시간으로 제어 및 모니터링하여 운영자가 장치 성능을 업그레이드할 수 있도록 하는 고급 Ultra-Sense (울트라 센스) 임플랜테이션 및 모니터링 기술과 함께 제공됩니다. Quantum X Plus의 질소 냉각 마그네트론 소스는 우수한 자동 메싱 기능을 가지고 있으며 업계에서 가장 높은 임플란트 각도를 제공합니다. 이를 통해 0.2mm 정도의 정확한 임플란트 각도와 이온 빔 에너지 (ion beam energy) 및 각도 분포 (angle distribution) 를 세밀하게 조정 할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum X Plus는 실리콘에서 갈륨 비소까지 다양한 재료에 사용될 수 있으며, 다른 도구에서 제공하는 매우 훌륭한 곡물 도핑 및 제거 용량을 제공 할 수 있습니다. AMAT Quantum X Plus는 뛰어난 장치 성능과 제어를 위해 설계된 완벽한 도구입니다. 에셋에는 이온 빔 프로파일 (ion beam profile) 과 플럭스 모니터링 기능이 포함 된 강력한 빔 제어 모델이 포함되어 있습니다. 또한 APPLIED MATERIALS Quantum X Plus에는 실시간 프로세스 모니터링, 이온 빔 전원 및 빔 위치 제어, 명시적 임플란트 속도 조정, 빔 변조 기능 등 여러 기능이 포함되어 있습니다. 이러한 기능은 장비가 임플란트 프로세스를 자동화하고, 고품질 임플란트를 보장하며, 처리 시간을 단축하는 데 도움이 됩니다. Quantum X Plus는 강력하고 다재다능한 이온 임플랜터 및 모니터 도구입니다. 이 시스템은 통합 입자 가속기, 정밀 광학 정렬, 고급 울트라 센스 (Ultra-Sense) 임플란테이션 및 모니터링 기술을 통해 최적의 반도체 장치 성능을 생산하도록 설계되었습니다. 이를 통해 운영자는 다양한 임플란트 파라미터를 제어하고 모니터링하여 보다 정확하고 신뢰할 수 있으며 실리콘 (silicon) 과 갈륨 비소 (gallium arsenide) 를 포함한 다양한 재료로 이식 할 수 있습니다. 탁월한 장치 성능과 임플란트 (Implant) 프로세스를 제어하려는 엔지니어에게 적합한 선택입니다.
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