판매용 중고 AIBT / ADVANCED ION BEAM TECHNOLOGY iStar #9021898

ID: 9021898
Ion implanter Asyst IsoPort 9700-9129-01 Rev. E Wafer Loader Asyst Teach Pendant (3) Asyst Fan/Filter Assemblies Asyst 14001-003 1515mm Linear Positioning Track Copley 8001052 Amplifier/Driver Ion Systems 5024 Controller with five 5285E Aerobar Ionizers Includes some manuals and software disks Missing: (3) Asyst IsoPort Loaders Wafer Robot Prealigner.
AIBT/ADVANCED ION BEAM TECHNOLOGY iStar 입자 이식 장비는 다양한 재료 처리 응용 프로그램에 사용되는 최첨단 AIBT입니다. 매우 견고 하고 정확 한 이 도구 는 정밀도, 정확성, 반복성 을 지닌 "이온 '을 공급 하도록 설계 되었다. AIBT iStar에는 검증된 다중 조리개/다중 폴 이온 소스 구성을 기반으로 하는 정교한 이온 소스가 있습니다. 이것은 고급 다중 에너지 빔 광학 시스템과 결합됩니다. 이 장치는 사용자가 준비되어 있으며, 설치 및 작업이 간소화되어 사용자의 개입을 최소화할 수 있습니다. 이 ADVANCED ION BEAM TECHNOLOGY는 2keV에서 200keV까지의 정확한 에너지 범위를 제공하며, 뛰어난 에너지 해상도와 고출력 가속 기능을 제공합니다. 이온 전류 수준 (ion current level), 빔 모양 (beam shape) 및 빔 크기 (beam size) 를 모든 에너지 수준에서 수정할 수 있습니다. 고급 ION 빔 기술 iStar에는 통합 컨트롤러 및 모니터 시스템이 있습니다. 이 도구에는 고급 사용자 인터페이스 (Advanced User Interface) 가 장착되어 있어 완벽한 프로세스 제어, 시각적 데이터 수집 및 프레젠테이션을 제공합니다. 이 에셋을 사용하면 임플란테이션 중 빔 매개변수를 모니터링하고 조절할 수 있고, 웨이퍼 도핑 프로파일을 모니터링할 수 있습니다. IStar 모델은 독립 실행형 장치로 설치하거나, 최대 생산 효율성을 위해 AIBT/ADVANCED ION BEAM TECHNOLOGY iStar Power Implanter와 완전히 통합된 프로덕션 라인으로 설치할 수 있습니다. 다른 기기 및 제어 시스템과의 통신을 위해 개방형 네트워크 아키텍처 (open network architecture) 로 설계되었습니다. 장비는 모듈식이므로 쉽게 업그레이드하고 확장할 수 있습니다. 또한 고급 진단 기능을 통해 프로세스 반복성, 가용성, 신뢰성을 극대화할 수 있습니다. 높은 정밀도, 정확도, 반복성을 가진 AIBT iStar 는 금속에서 폴리머 (polymer) 부품에 이르기까지 매우 정밀하게 다양한 재료를 처리할 수 있습니다. ADVANCED ION BEAM TECHNOLOGY iStar AIBT/ADVANCED ION BEAM TECHNOLOGY는 내장 Error-Correction 장치와 통합된 고유한 자동 레시피 추적 시스템을 갖추고 있습니다. 이 기능을 사용하면 사용자가 입력 오류를 발생시키는 경우, 레시피 리콜 및 오류 수정을 쉽게 수행할 수 있습니다. IStar는 다양한 재료 처리 응용 프로그램을위한 완벽한 지원 도구입니다. 고급 기능, 사용자 친화적 인터페이스, 모듈식 설계, 자동 레시피 추적 머신 (Automated Recipe Tracking Machine) 은 최고의 정밀도 및 프로세스 제어를 제공합니다. 시장을 선도하는 정확성과 정확성으로, AIBT/ADVANCED ION BEAM TECHNOLOGY iStar는 반도체 제조에서 산업 직물 및 의료 부품에 이르기까지 다양한 산업에서 사용할 수 있습니다.
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