판매용 중고 AXCELIS / FUSION 200 PCU Polo #9196916

AXCELIS/FUSION 200 PCU Polo는 고급 노출 장비로, 까다로운 포토 마스크 생산을 위해 정확하고 반복적으로 노출 할 수 있도록 설계되었습니다. 이 플랫폼은 5X 및 6X 노출 어플리케이션 모두에 적합합니다. 폴로 (Polo) 는 고해상도 도량형 및 기판 처리를 갖춘 자동 트랙 시스템으로, 뛰어난 수율 성능을 제공합니다. 이 장치는 특허를받은 최첨단 MFC (Mass Flow Controlled) 수분 프리 드라이 에어 기술로 설계되어 중요한 반복 노출 응용 프로그램에 정확하고 반복 가능한 용량을 제공합니다. MFC 기술은 노출 용량을 0.8% 이내로 재현 할 수 있습니다. 기계에는 자동 로드, 배치 및 방향 제어를 포함한 고급 기판 처리가 있습니다. 이 도구에는 자동 백사이드 정렬 및 금속 정렬 모니터링도 포함됩니다. 이 플랫폼은 최대 200mm 크기의 기판을 처리 할 수 있으며, 최대 1.5mm 두께의 기판을 처리 할 수 있습니다. 고급 광학 기계 자산은 뛰어난 광학 성능을 제공합니다. 광 모델은 자동 정렬 장비와 결합된 고성능 회절-보정 노출 렌즈를 사용합니다. 고급 노출 시스템은 0.1µm/mm의 낮은 선형 왜곡과 결합 된 최고 4 초의 최고 수준의 노출 균일 성을 제공하도록 설계되었습니다. FUSION 200PCU POLO는 사용자 친화적 인 GUI (Graphical User Interface) 를 통해 설계되었으며, 신속한 설치 및 노출 매개변수의 정확한 반복성을 제공합니다. 이 장치는 광범위한 프로세스 및 기판 데이터 수집 기능을 갖춘 연산자 친화적 인 컨트롤을 제공합니다. 이 데이터는 정확하고 반복적으로 노출 될 수 있도록 사용됩니다. AXCELIS 200 PCU/POLO는 포토 마스크 제작을 요구하는 정확하고 반복 가능한 노출을 제공하는 고급 노출 기계입니다. 검증된 광학 성능, MFC 제어 도구, 자동 기판 처리 (Automated Substrate Handling) 를 통해 자산은 우수한 수율 및 정확한 반복 가능한 용량을 제공 할 수 있습니다. 이 모델의 사용자 친화적인 GUI는 쉽게 설치하고 프로세스를 정확하게 제어할 수 있습니다.