판매용 중고 AXCELIS / FUSION 200 PCU #9194479

AXCELIS/FUSION 200 PCU (Personal Computer Unit) 는 여러 가지 리소그래피 작업을 위해 설계된 노출 장비입니다. 노출 제어, 에치/개발 제어 및 마스크 정렬기에 사용됩니다. PCU 는 많은 석판화 장비 (lithography equipment) 와 부품에 연결된 독립형 시스템입니다. 이 장치는 워크스테이션, 컨트롤러, 전원 공급 장치, 메인프레임, 소프트웨어 패키지 등 여러 구성 요소로 구성되어 있습니다. 워크스테이션은 사용자 인터페이스 역할을 하고, 컨트롤러는 프로세스 제어를 담당합니다. 전원 공급 장치 (power supply) 는 기계에 전원을 공급하고, 메인프레임에는 도구의 회로가 모두 들어 있습니다. 소프트웨어 패키지는 사용자가 매개 변수를 입력하고, 명령을 실행하고, 보고서를 받을 수 있는 플랫폼을 제공합니다. FUSION 200 PCU에는 컬러 터치스크린 디스플레이, 5 "고해상도 디스플레이, 데이터 입력이 용이한 멀티 키보드 등이 있습니다. 또한 최대 10,000 개의 마스크와 정렬 데이터를 저장할 수있는 대용량 데이터베이스가 있습니다. 또한, 이 자산은 사용자가 사용자 정의할 수 있는 여러 통신 프로토콜을 지원합니다. 이 모델은 노출 시간, 조명 패턴, 초점, 어두운 노출, 편광 및 노출 보정과 같은 노출 매개 변수를 제공 할 수 있습니다. 초고속 응답 시간이 있으며, 여러 웨이퍼 노출을 동시에 제어할 수 있습니다. 장비는 또한 고급 마스크 데이터베이스 검색 (advanced mask database search) 기능을 제공하며, 특정 요구 사항을 충족하는 마스크 세트를 검색하는 데 사용할 수 있습니다. 또한 사내 프로세스 매개변수를 모니터링할 수 있으며, 외부 시스템을 관리하도록 확장할 수 있습니다. 이 시스템은 장치의 성능, 정렬 관리를 지원하는 다양한 진단 도구 (diagnostic tools) 를 갖추고 있습니다. 초점 오류, 노출 타이밍, 편광, 교정, 온도 등 모니터링할 매개 변수를 최대 10,000 개까지 저장할 수 있습니다. 또한 자동 초점 보정 기능 (automatic focus calibration feature) 을 사용하여 기계가 항상 최상의 성능을 갖도록 합니다. AXCELIS 200PCU 는 강력한 노출 툴로서, 사용자가 여러 석판화 작업을 실행할 수 있도록 설계되었습니다. 터치스크린 디스플레이 (Touchscreen Display) 부터 종합적인 데이터베이스 (Database) 에 이르기까지 다양한 기능이 있어 고급 노출 요구 사항에 이상적인 솔루션입니다.