판매용 중고 AUTOMATECH Altix #9195164

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제조사
AUTOMATECH
모델
Altix
ID: 9195164
빈티지: 2015
UV Exposure systems 1 Phase 2015 vintage.
AUTOMATECH Altix는 반도체 웨이퍼 처리를 위해 특별히 설계된 고성능 자동 노출 장비입니다. 이 시스템에는 최적화된 고정밀 (high-precision) 변환 단계가 장착되어 있어 수동 또는 직접 연산자 개입이 필요 없이 정확한 정확성을 위해 복잡한 3 차원 구조를 만들 수 있습니다. 알틱스 (Altix) 는 완전한 가변 노출 설정을 자랑하여 유연성을 극대화하면서 일관된 결과와 뛰어난 선명도를 제공합니다. 특허받은 자가 로딩 메커니즘은 노출 시간을 줄이고 손상 위험을 최소화하기 위해 설계되었습니다. AUTOMATECH Altix 의 광 장치 (optical unit) 는 유지 보수가 적고 다양한 작동 조건에서 뛰어난 출력의 균일성을 보장합니다. 이 기계는 광범위한 공간 주파수와 각도 해상도를 가지고 있습니다. 광대역 스펙트럼 노출의 경우 0.2 äm ~ 0.95 äm, 대역 노출의 경우 0.85 äm ~ 10.5 äm입니다. 이를 통해 연산자는 개별 노출의 에너지와 위치를 정확하고 정확하게 제어 할 수 있습니다. 노출 도구는 직관적이고 사용이 간편하며, 여러 운영 모드와 사용자에게 친숙한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 갖추고 있습니다. 또한 이더넷 및 IEEE-1394 네트워크 통신이 가능하며, 자동 운영 시스템에 통합될 수 있습니다. 이 에셋에는 생산성을 높이기 위해 미리 저장된 마스크 패턴이 포함되어 있으며, 직접 피드백 (feedback) 및 마스크 및 저항 이미지 평가를위한 고성능 CCD 카메라가 있습니다. 알틱스 (Altix) 는 작은 설치 공간을 갖춘 컴팩트한 디자인으로, 기존 운영 시스템에 쉽게 통합할 수 있습니다. 생산성을 극대화하기 위해 최소한의 감독이 필요하며, 자동화된 프로세스에서 작동하도록 프로그래밍될 수 있습니다. 또한, 독점 공기 방출 설계 로 인하여, 이 "모델 '은 건조 나 청소 없이 매우 다양 한 기판 에 적용 될 수 있다. AUTOMATECH Altix는 에칭, 증착, 부분 웨이퍼 제작 등 다양한 응용 프로그램으로 다양한 기판을 처리하는 데 이상적입니다. 고급형 반도체 생산 공정 (Advanced, High-End Semiconductor Production Process) 에서 매우 정확한 노출과 우수한 품질을 제공합니다. 전반적으로, Altix는 뛰어난 결과를 요구하는 사람들에게 완벽한 솔루션이며, 높은 신뢰성, 정확성, 속도를 요구합니다.
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