판매용 중고 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMZ 200SE #140744

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ID: 140744
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 2003
Deep reactive ion etcher, 6", 2003 vintage.
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMZ 200SE는 실험실 및 산업용으로 설계된 에처 및 애셔입니다. 자체 포함 된 악기이며 에칭 (etching), 증착 (deposition) 및 마이크로 머신 (micromachining) 과 같은 다양한 응용 분야에 적합합니다. ADIXEN AMZ 200SE는 스테인리스 스틸 챔버 (Stainless Steel Chamber) 로 구성되어 있으며, 디지털 진공 제어 시스템과 효율적으로 환기되고 통합됩니다. 챔버에는 리프트 가능한 커버 (liftable cover) 와 오목한 창 (recessed window) 이 장착되어 있어 프로세스를 완전히 볼 수 있습니다. 이 챔버 (chamber) 에는 다공성 세라믹 단열재 (ceramic insulation) 가 있으며, 효율적인 열 제어는 챔버 내에서 강제 공기 순환에 의해 보충되어 온도 균일성을 최대화하도록 설계되었습니다. 에처/애셔에는 메탄, SF6, 헬륨과 같은 다양한 가스가 포함 된 가스 패널이 장착되어 있습니다. 응용 프로그램에 따라, 사용자는 가스 흐름 속도, 압력 및 조성을 쉽게 변경할 수 있습니다. 또한, 통합 펄스 전원 공급 장치 (Integrated Pulse Power Supply) 는 가스의 전원 수준을 제어하므로 특정 요구 사항에 따라 프로세스 매개변수를 쉽게 조정할 수 있습니다. ALCATEL AMZ 200SE 는 사용자 친화적이며 사용이 간편한 운영 소프트웨어 (생산성 향상, 프로세스 제어 극대화) 를 제공합니다. 소프트웨어는 프로세스 시간 (process time), 압력 (pressure), 가스 흐름 속도 (gas flow rate) 와 같은 다양한 프로세스 매개변수를 모니터링하고 제어하도록 프로그래밍됩니다. 또한 압력을 모니터링하고 계획되지 않은 사건에 반응하여 안정적이고 안정적인 시스템 (stable system) 이 될 수 있습니다. AMZ 200SE는 실험실 및 산업 환경의 최대한의 안전을 위해 설계되었습니다. 주요 안전 기능에는 내장 비상 밸브 (Emergency Valve) 와 특수 기계식 물개 (Mechanical Seal) 가 포함되어 있어 모든 위험한 가스가 챔버 내에 안전하게 포함되어 있고 사용자로부터 떨어져 있습니다. PFEIFFER AMZ 200SE는 안정적이고 효율적인 에처이며, 다양한 어플리케이션에 적합합니다. 쉽게 조정, 모니터링할 수 있는 다양한 프로세스 (process) 매개변수를 사용하여 정확하고 정확한 작동에 적합합니다. 이러한 매개 변수에는 가스 공급, 압력, 펄스 전원 공급 장치 및 처리 시간이 포함됩니다. 안정적이고 효율적인 기능을 갖춘 ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMZ 200SE는 실험실 및 산업 환경 모두에 적합합니다.
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