판매용 중고 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER 220 #9008383

ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER 220
ID: 9008383
Plasma etcher, de-installed.
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER 220은 반도체 제조에 사용되는 에처/애셔 유형입니다. 그것 은 "반도체 '장치 를 만들기 위하여 얇은 물질 층 을 기판 에 배치 하는 데 사용 된다. ADIXEN 220은 25 ° C ~ 250 ° C의 온도에서 작동 할 수있는 수직 단일 웨이퍼 에처/애셔입니다. 이 에처/애셔 (etcher/asher) 는 저압 플라즈마를 사용하여 물질을 기판에 침전하고 에칭합니다. 처리 영역은 최대 200mm 직경의 기판을 수용 할 수 있습니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 완전히 자동화 된 장비를 갖추고 프로세스를 완벽하게 제어합니다. ALCATEL 220에는 스테인리스 스틸 챔버 (Stainless Steel Chamber) 가 있습니다. 이 과정 은 연속적 인 질소 "가스 '의 흐름 으로 진행 되어 매우 정밀 한" 에칭' 과 증착 이 가능 하다. 프로세스 매개변수는 프로그래밍 가능하여 프로세스를 최적으로 제어할 수 있습니다. 사용자 친화적 인 터치 스크린 디스플레이는 etcher/asher 실행에 필요한 모든 매개 변수에 쉽게 액세스할 수 있습니다. 에처/애셔 (Etcher/Asher) 는 챔버 및 기판의 우수한 냉각을 제공하는 수냉식 시스템 (water cooling system) 과 가스 냉각 장치 (gas cooling unit) 를 모두 갖추고 있으므로 반복 가능하고 열 안정성을 달성 할 수 있습니다. 또한, 증착 과정에 의해 생성 된 이산화규소 층은 과열로 인해 에처/애셔가 손상되지 않도록 보장한다. Etcher/Asher에는 챔버 퍼징 (chamber purging), 고온 안전 인터 록 (high-temperature safety interlock) 및 긴급 종료 시스템을 포함한 일련의 안전 기능이 장착되어 있습니다. 이렇게 하면 etcher/asher가 제대로 작동하고 기판이 손상으로부터 적절하게 보호됩니다. 220은 매우 신뢰할 수있는 에처/애셔 머신으로, 높은 정확성과 반복 성을 제공합니다. 그것 은 "반도체 '제조 에 필수적 인 도구 이며, 광범위 한" 기판' 을 제조 하고 시험 하는 데 사용 될 수 있다. 에처/애셔 (etcher/asher) 는 탁월한 비용 효율성을 제공하여 생산 및 연구 및 개발에 모두 적합합니다.
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