판매용 중고 ADVANCED ENERGY FTMS #9158680

고급 에너지 (ADVANCED ENERGY) FTMS는 다양한 반도체 에치 및 애셔 제작 프로세스를 위해 특별히 설계된 고급 에칭 앤 애셔 (eching and asher) 장치입니다. 이 장치를 사용하면 복잡한 반도체 구조에서 고정밀, 고속 에치 (etch) 및 애셔 작업을 쉽게 수행 할 수 있습니다. 이 장비는 고출력 에칭 (etching), 애시어링 (ashering), 저전력 작동, 견고한 제어 시스템 등 다양한 기능을 제공합니다. FTMS 는 고해상도 이미징 장치와 다양한 고급 기능을 갖추고 있습니다. 이미징 머신 (Imaging Machine) 은 프로세스 세부 사항을 나노미터 수준으로 해석하여 정확한 에칭 및 애싱 (ashing) 작업을 허용합니다. 이 장치에는 고급 웨이퍼 로드 (wafer loading) 및 언로드 (unloading) 도구도 있습니다. 이 도구는 장치로부터 프로세스 챔버로 자동으로 웨이퍼를 전송할 수 있습니다. 이렇게 하면 오염을 최소화하면서 각 프로세스 단계가 수행됩니다. 이 장치에는 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 제어하는 고급 유체 관리 자산도 있습니다. 이 모델은 프로세스의 효율성을 극대화하기 위해 압력 (pressure), 온도 (temperature), 에칭 시간 (etching time) 과 같은 일련의 매개변수로 프로그래밍됩니다. 이 장비 는 또한 배기 "가스 ', 반응물 등 의 가공 유체 의 흐름 을 제어 할 수 있다. ADVANCED ENERGY FTMS에는 장치를 쉽게 설치, 구성, 운영할 수 있는 고급 제어 시스템이 있습니다. 이 장치는 프로세스 매개변수 (process parameters) 를 실시간으로 표시할 수 있으므로 에칭 (etching) 및 어싱 (ashing) 프로세스를 빠르게 조정할 수 있습니다. 또한 [매개 변수 조정] 에 소요되는 시간을 단축하여 원하는 결과를 얻을 수 있습니다. 고급 기능 외에도 ADVANCED ENERGY ETMS는 다양한 액세서리를 제공합니다. 여기에는 정교한 에칭 및 애싱 팁, 광택제, 브러쉬 및 기타 프로세스 별 소모품 등이 포함됩니다. 따라서 사용자가 에칭/어싱 프로세스를 사용자 정의하고 성능을 극대화할 수 있습니다. 전반적으로, FTMS는 정교한 반도체 응용 분야를 위해 특별히 설계된 고급 에칭 및 애셔 장치입니다. 뛰어난 이미징 머신, 고급 유체 관리 도구, 다양한 액세서리 (accessory) 를 통해 고밀도, 빠른 에칭, 재싱을 실현할 수 있습니다.