판매용 중고 ASM SP 32 #9136879

이 품목은 이미 판매 된 것 같습니다. 아래 유사 제품을 확인하거나 연락해 주십시오. EMC 의 숙련된 팀이 이 제품을 찾을 수 있습니다.

ASM SP 32
판매
ID: 9136879
Diffusion furnaces.
ASM SP 32는 ASM International의 어닐링 및 확산 로입니다. 반도체 장치 제작에 사용하도록 설계되었으며, 프로세스 성능을 최적화하기 위해 고급 프로세스 제어 (advanced process control) 기능을 갖추고 있습니다. SP 32 의 개별 레벨 패널 액세스를 통해 프로세스 매개 변수를 빠르고 정확하게 튜닝할 수 있습니다. 석영 유리 (quartz glass) 패널과 내부 벽 (inner wall) 이 결합하여 용광로의 진동 및 열 구배를 줄이고 작업 챔버 전체에 균일 한 온도 프로파일을 제공합니다. 큰 석영 플래터는 어닐링 및 확산 프로세스를 위해 한 번에 최대 4 개의 8 "또는 3 개의 12" 또는 2 15 "웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 내부 "팬 '은 난류" 가스' 흐름 을 제공하여 열 "프로파일 '이 개선 되고" 웨이퍼' 가 균일 하게 가열 된다. 또한 여러 가스 채널 (gas channel) 이 장착되어 있어 가스 배달 또는 기타 기능에 사용할 수 있습니다. 또한, 석영 부품은 재사용 가능하며, 부식 환경에서 장기간 작동을 견딜 수있는 충분한 내성을 가지고 있습니다. 내장 프로그래밍 가능한 컨트롤러에는 자동 프로세스 제어, 모니터링, 총 주기 관리 단계 등을 위한 수동 (manual) 모드와 자동 (automatic) 모드가 있습니다. 또한, 온도와 작동 매개변수를 컨트롤러에 저장할 수 있으므로 다른 사용자 간에 쉽게 공유할 수 있습니다 (영문). 표준 모델의 작동 온도는 최대 900 ° C, 최대 가열 속도는 최대 150 ° C/min입니다. 이 용광로는 또한 빠른 냉각 시스템 (rapid chilling system) 옵션과 함께 제공되어 주기 시간을 줄이고 열 민감성 기질의 처리를 용이하게합니다. ASM SP 32 에는 단일 축 자동 로드 시스템이 장착되어 있으므로, 전체 자동화를 통해 연속 배치 (continuous batch) 실행에 적합합니다. 액세스 패널은 열 전달 (heat transfer) 을 최소화하고 입자 증착을 최소화하여 고품질 결과를 얻을 수 있도록 특별히 설계되었습니다. 사고 방지 및 보안 운영을 보장하기 위해 SP 32 에 여러 안전 연동이 내장되어 있습니다. 전반적으로 ASM SP 32는 신뢰할 수 있고 매우 정확한 프로세스로, 다양한 반도체 기판을 확산, anneal 또는 질화시키는 데 사용될 수 있습니다. 고성능 "프로그래밍 '방식의 컨트롤러와 다양한 액세스 패널을 통해 사용자는 전체 프로세스를 손쉽게 프로그래밍, 모니터링, 제어할 수 있어 뛰어난 성능을 제공합니다.
아직 리뷰가 없습니다