판매용 중고 ASM A 412 #9170221

ASM A 412는 반도체 제조 응용 프로그램을위한 확산 로와 액세서리입니다. 도펀트를 웨이퍼로 확산시키기 위해 설계되었습니다. 이 장비는 효율적이고, 안전하며, 반복 가능한 처리를 위해 다양한 기능을 갖추고 있습니다. 용광로 챔버 (furnace chamber) 는 고품질 재료로 만들어졌으며, 공정 주기 동안 오염을 방지하기 위해 석영 튜브를 포함합니다. 그것은 4 구역, 일정한 온도 수직 가열 시스템에 의해 가열됩니다. 4 개의 고정밀 히터 카트리지는 독립적 인 PID 컨트롤러로 제어되어 반복 가능한 온도 정확도 (± 0.01 ° C) 를 보장합니다. 또한 균일 한 등온 처리를 위해 냉각 된 상단 플래튼이 장착되어 있습니다. ASM A412 는 강력한 자동 (automated) 엔드포인트 (End Point) 검출기로, 정확한 엔드 포인트 탐지를 보장하며 완성된 제품의 잠재적 결함을 제거합니다. 또한 서보 모터가 장착 된 자동 리프터 플랫폼 (Automated Lifter Platform) 을 통해 웨이퍼의 일관된 로드 및 언로드를 보장합니다. 전자 제어판 (Electronic Control Panel) 은 작동 매개변수와 안전에 대한 모든 필수 정보를 제공하며, 이 과정을 완전히 간단하고 직관적으로 처리합니다. 412에는 강력한 진공 장치도 포함됩니다. 확산 챔버 (diffusion chamber) 에서 낮은 부분 진공 압력을 유지할 수 있으며, 정확하고 반복 가능한 확산 과정을 가능하게한다. 용광로 액세서리에는 자동 미리보기 기계, 냉각 및 통풍 도구, 비활성 제거 (inert purge) 에셋이 포함됩니다. 이러한 컴포넌트는 용광로의 적절하고 효율적인 작동을 보장합니다. A412는 뛰어난 웨이퍼 균일성과 수율을 제공하기 위해 제작되었습니다. 정교한 디자인과 기술을 통해 고성능 반도체 제작 (FMA) 프로세스를 완벽하게 선택할 수 있습니다. 광범위한 기능, 정확하고 안정적인 성능, 간편한 유지 보수 (maintenance) 기능을 통해 확산 프로세스에 이상적인 툴입니다.