판매용 중고 ASM A 412 #9117000

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ASM A 412
판매
ID: 9117000
웨이퍼 크기: 12"
Doped poly vertical LPCVD furnaces, 12".
ASM A 412는 고객의 요구에 맞게 특별히 설계된 확산 용광로 및 액세서리입니다. 이 제품은 견고한 구조를 갖추고 있으며, 반도체 제조, 연구 개발, 제품 설계 등 다양한 응용 분야에 널리 사용됩니다. 내성 난방 기술 (resistance heating technology) 과 석영 절연 (quartz insulation) 을 결합하여 우수한 열 효율성과 균일 한 온도를 제공하는 고급 열 확산 메커니즘이 특징입니다. 용광로 챔버 (furnace chamber) 는 석영 튜브로 이중 줄 지어 있으며, 균일 한 온도와 더 큰 열 효율을 제공합니다. 또한 온도 정확도와 정밀도에 대한 열전대를 포함합니다. ASM A412는 자동화된 작동으로 인해 대용량 운영 실행에 적합합니다. 이 제품은 전체 작동 범위에 따라 일관된 가열을 제공하는 분산 PID 온도 조절 시스템 (Distributed PID Temperature Control System) 을 갖추고 있으므로 정밀한 프로세스 제어가 가능합니다. 또한 안정된 대기 생산이 가능한 압력 제어 시스템 (Pressure Control System) 이 장착되어 있습니다. 또한이 제품에는 휘발성 재료를 방출하기위한 석영 콘센트가 있습니다. A 412의 크기는 1020 x 1420 x 890mm이며 통합 작업 공간 최적화가 가능합니다. 이 제품에는 방출 반응 가스를위한 가스 콘센트 (gas 아울렛) 와 침전물 수집을위한 수냉식 스틸 카트리지 필터 (water-cooled steel cartridge filter) 도 있습니다. 또한 A412는 진공 펌프, 가이드 튜브, 컨트롤러, 가스 관리 시스템 등 다양한 액세서리와 호환됩니다. 쉽고 안전한 작동을 위해 ASM A 412 확산 로에는 직관적인 인터페이스 및 디지털 디스플레이를 갖춘 사용하기 쉬운 키패드 컨트롤러 (keypad controller) 가 있어 온도, 진공, 온도 램프 속도 등의 필수 매개변수를 모니터링하고 조정할 수 있습니다. 이 제품은 또한 안전성, 과열 보호 기능, 열방사 (heat radiation) 로부터 연산자를 보호하기 위한 강철 그릴 및 수동 차단 설정을 위해 설계되었습니다. 다양한 용량으로 공급되는 ASM A412 는 안정적이고 효율성이 높은 확산 로로, 특히 고객의 요구를 충족하도록 설계되었습니다.
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