판매용 중고 ASM A 412 #9114674

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ASM A 412
판매
ID: 9114674
웨이퍼 크기: 12"
Vertical LPCVD furnace, 12".
ASM A 412는 확산 반도체 재료 생산을 위해 설계된 확산 로와 액세서리 패키지입니다. 전기 전도성 증가, 내열 (thermal resistance) 과 같은 향상된 특성을 제공하기 위해 재료에 다양한 층을 배치하는 데 사용됩니다. 이 패키지에는 0-50kW 전원 공급 장치, 3 개의 개별 용광로 영역 (독립 열 구역 및 개별 통풍구 시스템이있는 최대 1000 ° C), 가스 전달 및 제어 시스템, 안전 부품 및 확산 프로세스의 수명과 효율성을 연장하기 위해 설계된 다양한 구성 요소. 전원 공급 장치 (power supply) 는 3 개의 다른 용광로 구역에 다양한 수준의 전원을 공급하므로 사용자가 다양한 재료에 대해 다양한 확산 효과를 얻을 수 있습니다. 또한 온도 및 압력 센서 (pressure sensor) 를 장착하여 프로세스를 정확하게 모니터링하고 과열 또는 위험한 산소 수준을 방지합니다. "가스 '전달 및 조절" 시스템' 은 확산 과정 에 필요 한 "가스 '를 안전 하게 전달 하고 정확 하게 혼합 한다. 또한, 공정을 조절하고 정확한 흐름 제어를 제공하기 위해 압력 (pressure) 및 흐름 제어 (flow control) 밸브가 장착되어 있습니다. ASM A412 액세서리 패키지에는 다양한 안전 부품 (safety component) 이 포함되어 있어 확산 과정에서 가스 또는 기타 유해 물질의 우발적 방출을 방지합니다. 제거 및 분리 밸브, 보호 담요, 소화 시스템, 긴급 차단 및 배기 밸브와 같은 추가 구성 요소는 잠재적으로 위험한 물질로부터 운영자를 더욱 보호합니다. 이 패키지에는 확산 프로세스의 수명과 효율성을 연장하는 구성 요소도 포함되어 있습니다 (영문). 이 구성 요소에는 냉각 재킷 (cooling jacket) 이 포함되어 있어 열 그라디언트를 줄이고 처리 중인 재료의 품질을 유지합니다. 열장벽 은 또한 열손실 을 최소화 하고, 물질 에 미치는 확산 효과 를 최대화 하기 위해 포함 된다. 412 확산 패키지 (412 diffusion package) 는 통제되고 안전한 확산 프로세스에서 원하는 결과를 달성하기 위한 이상적인 도구입니다. "에너지 '와 안전" 부품' 의 결합 으로, 그것 은 확산 된 반도체 재료 의 생산 을 위한 완전 한 해결책 이다.
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