판매용 중고 ASM A 412 #9114673

ASM A 412는 응용 확산 및 합금 프로세스를위한 자동 확산 로와 하드웨어 장비입니다. 이 다재다능한 도구는 금속과 합금의 고온 확산을 위해 설계되었습니다. ASM A412는 사전 형성된 재료 조각 (예: 웨이퍼, 칩, 소형 샘플) 의 균일하고 반복 가능한 확산 프로세스에 필요한 뛰어난 성능과 신뢰할 수있는 결과를 제공합니다. 412 는 통합 소프트웨어가 포함된 고성능 컨트롤러 (HPC) 에 의해 제어되며, 사용자는 각 확산 단계에 대해 원하는 매개변수를 정의하여 전체 프로세스를 더욱 쉽고 빠르게 수행할 수 있습니다. 또한 사용자는 확산 매개변수를 웨이퍼 (wafer) 의 정밀 요구 사항에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다. 또한, A412는 자동 냉각 시스템, 통합 가스 강화 장치, 온보드 온도 및 압력 모니터링 기계를 갖추고 있습니다. 이 퍼니스는 파퍼 (wafer) 정렬을 유지하고 웨이퍼 (wafer) 대 퍼니스 (furnace) 간격을 일관되게 유지하기 위해 강력한 디플렉션 메커니즘을 사용하는 정밀 설계 와이어 구동 주 케이블을 갖추고 있습니다. 이것 은 "스테인레스 '강철 주거지 의 뛰어난 열전도성 과 더불어 열 이 전체" 웨이퍼' 에 균일 하게 분배 되도록 한다. 또한, 컨트롤러는 전원 공급 장치의 고정밀 디지털 PWM 제어를 제공하여 온도, 대기, 고급 프로세스 알고리즘을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 용광로 는 또한 용광로 내부 의 총 "가스 '압력 을 온도 의 기능 으로 모니터링 하고 조정 하는 정밀 압력 조절 도구 (precision pressure control tool) 와 과열 된" 가스' 를 걸러내고 재활용 하는 배기 자산 (exhaust asset) 도 갖추고 있다. 배기 "모델 '은 불순물 을 걸러내어" 웨이퍼' 가 일관성 있고 정제 되고 안전 한 열 처리 를 받게 한다. ASM A 412는 다양한 도자기, 금속, 합금 등 고정밀 재료의 확산 공정을 지원할 수있는 내구성이 높고 신뢰할 수있는 장비입니다. 이 시스템에는 또한 최적의 성능 (예: 아르곤 입구, 보호 실드, 확산 프로세스 모니터링 및 제어를 위한 온도 측정 하드웨어) 을 돕기 위한 여러 액세서리가 포함되어 있습니다. 결론적으로, ASM A412는 금속과 합금 재료의 효율적이고, 일관성 있고, 정확한 확산을 제공하는 자동 확산 로와 하드웨어 장치입니다. 이 신뢰할 수 있는 도구는 고온 확산을 위해 설계되었으며 뛰어난 열 전도성, 고밀도 PWM 제어, 사용자 정의/자동 냉각 프로세스 기능을 제공합니다. 여러 액세서리와 함께, A 412는 높은 정확도와 정확성이 필요한 확산 프로세스에 적합합니다.