판매용 중고 ASM A 600 UHV #9097986

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ASM A 600 UHV
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ID: 9097986
Selective deposition system.
ASM A 600 UHV Diffusion Furnace and Accessories는 다양한 과학 분야에서 매우 높은 진공 응용을 위해 설계된 종합 실험실 장비 패키지입니다. 600 UHV 확산 퍼니스 (Diffusion Furnace) 는 최대 1000 ° C의 온도에 도달 할 수 있으며, 에피 택시 성장, 나노 미터 박막 증착, 산화 및 질화 과정과 같은 응용 분야에 이상적입니다. 정밀한 온도 조절을 위해 멀티 존 (multi-zone) 난방 장비와 높은 주파수, 낮은 EMI 전원 공급 장치가 장착되어 있습니다. ASM A 600 UHV 액세서리에는 향상된 기능을 지원하는 다양한 구성 요소가 장착되어 있습니다. 여기에는 질화물 붕소 susceptor, 기판 전자 빔 증발기, 석영 진공 잠금 시스템 및 추가 전/후 증착 시스템이 포함됩니다. 이러한 구성 요소는 다양한 고급 프로세스를 위해 A 600 UHV Diffusion Furnace와 함께 사용할 수 있습니다. 예를 들어, 질화 붕소 서셉터는 균질 한 박막 증착 과정을 만드는 데 사용될 수있다. 질화 붕소 (boron nitride) 로 만들어졌으며, 이는 열 충격에 저항하고 더 나은 온도 조절을 용이하게하는 능력으로 유명합니다. 한편, 기질 전자 빔 증발기는 도달하기 어려운 기질에서 나노 미터 박막 증착 과정을 허용한다. 이 구성 요소에는 정확한 온도 피드백 제어를 위한 내장 소프트웨어도 포함되어 있습니다. 이러한 구성 요소를 함께 사용하면 확산 과정에서 일관되고 정확하게 관리되는 온도 제어 (temperature control) 를 수행할 수 있습니다. 한편, 쿼츠 진공 잠금 장치 (quartz vacuum locks unit) 는 성공적인 확산 및 박막 증착에 필요한 매우 높은 진공 수준을 유지하는 데 도움이됩니다. 이 기계 는 "확산 과정 '전 과 후 에 진공 상태 를 유지 하는 데 소요 되는 시간 을 줄이기 위해 설계 되었다. 추가 사전/사후 증착 (pre-and post-deposition) 시스템은 또한 원하는 온도에 자동 램핑 (ramping) 과 같은 고급 기능을 제공하여 사용자가 도구가 위로 올라갈 때까지 기다리지 않고도 즉시 확산 프로세스를 시작할 수 있습니다. 요약하면, ASM A 600 UHV Diffusion Furnace and Accessories는 사용자에게 정밀도가 높은 종합 실험실 장비 패키지를 제공합니다. 이 장비 세트에는 정밀한 온도 조절 (temperate control) 과 초고진공 (ultra-high vacuum) 수준을 만들기 위해 결합 가능한 다양한 구성 요소가 장착되어 있어 광범위한 과학 분야에 이상적인 선택입니다.
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