판매용 중고 ASM A 412 #9185404
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판매
ID: 9185404
웨이퍼 크기: 12"
Vertical furnaces, 12"
Dual reactors cure VDF: CU, PI
WIP Module:
Part number / Description
2945169-01 / Main frame WIP assembly
2379589-01 / Elevator chr
2947641-01 / Cassette stacker carousel
2944170-01 / Cassette transfer module
2947692-01 / Load port
2403641-01 / Pneumatic box
2947617-01 / WIP Flow box
Reactor module (Base model info):
Part number / Description
2330865-01 / Main reactor A412 frame assembly
2916177-01 / Reactor A412 top frame
2931303-01 / Reactor servo drive
2370387-01 / Reactor EMO / Motion
2931257-01 / BTC Box
2373718-01 / WTC Box
2909251-01 / R1 / R2 Controllers
2936550-01 / Reactor touchscreen
2327287-01 / Carousel bearing
2329999-01 / Carousel housing
2931222-01 / Carousel drive
2931109-01 / Reactor carousel
2379872-01 / Reactor fan
2936739-01 / A412 Gate valve
2997320-01 / Boat elevator A412
2972786-01 / Loader arm LP ROT
2936666-01 / O2 Analyzer reactor GEN
2366460-01 / N2 Purge generic
2330768-01 / TCU / TCF Generic
2330350-01 / VAC / PNEU Comp A412
Miscellaneous:
Part number / Description
2895587-01 / (2) End effectors 242 CER
2927772-01 / N2-Purge 200 SLM assembly
2927810-02 / Reactor O2 analyzer 120 VAC
2405067-01 / Door opener 2nd GEN IC
2888025-01 / Transponder
2356341-01 / Press sens WHR single
2356333-01 / Press sens RC car
Reactor chambers 1-2:
Part number / Description
2995905-01 / Reduced exhaust ATM kit
2842939-02 / Process tube ATM NQ thin kit
2897334-02 / Door plate ATM LT H2 SS
2845644-02 / Wafer carrier NQ ATM 300 mm
2805847-01 / Thermocouples ATM BC
2954664-01 / Mount block FLG'S
2869764-01 / FLGS Proc / Door ATM MK
2806096-01 / ATM Scavenger purge
2864282-02 / Outlet no QTZ ATM H2-cure kit
2894564-01 / Heat exchanger RC1 / RC2
2996235-01 / Klixon heater element
2953927-01 / Heat ELEM ATM FR LT
2836343-01 / ATM Exhaust RC1 / RC2 120 V
2301652-01 / ELEC FLG'S ATM A412
2866048-01 / Heater outlet ATM 24 V
2955644-01 / GASP H2 Cure RC 1/2
2907860-01 / Intermediate H2 Cure RC 1/2
2310953-02 / INC GASL RC 1/2 901300
2865262-01 / H2 Sensing RC1 / RC2
2332108-01 / Pump TCU
2862255-01 / O2-Analyzer ATM H2 cure RC 1/2.
ASM A 412는 확산 기판 및 관련 부품을 균일하게 가열하도록 설계된 고급 열 처리 도구입니다. 인상적인 열 구배 (Thermal Gradient) 는 ± 3 ° C의 직경으로 최대 6 인치의 기질을 처리 할 수 있습니다. 열은 독립적 인 에너지 제어 시스템 (energy control system) 을 통해 작동하는 긴 수명 관형 가열 요소에 의해 생성됩니다. 이 장치에는 전처리 된 가열, 균일 한 가열, 곡선 후속 가열, 냉각 속도 제어 등의 열 처리 기능이 장착되어 있습니다. 이 장비 는 진공 브레이크 (vacuum break) 를 특징 으로 하여, 확산 되기 전 에 기판 표면 에서 공기 나 다른 "가스 '를 제거 하기 위하여 용광로 를 대피 시킬 수 있다. 난방 원소 가 "에너지 '화 될 때 확산 과정 이 일어나서, 용광로 의 온도 를 필요 한" 세트 포인트' 로 올린다. 그런 다음 기판을 핫 존 (hot zone) 에 배치하여 확산 과정을 가속화합니다. 이 장치는 수직 로딩 (vertical loading) 설계를 통해 용광로 전체에 균일한 온도 구배뿐만 아니라 빠르고 쉬운 기판 액세스를 제공합니다. 또한 난방기 (heating chamber) 와 통합된 공랭식 시스템 (air-cooling system) 을 통해 확산 시간을 크게 줄일 수 있습니다. 또한이 장치에는 고급 흑연 히터 (advanced graphite heater) 가 포함되어 있어 필요한 온도 균일성을 유지하는 데 도움이됩니다. 최적의 안전 수준을 보장하기 위해이 장치에는 긴급 스위치 (Emergency Switch) 도 있습니다. ASM A412 확산 머신 (ASM A412 diffusion machine) 은 사용하기 쉽고 신뢰할 수있는 툴로, 다양한 확산 절차에 사용할 수 있습니다. 유연성은 빠르고, 안정적이며, 고성능 열 처리 (thermal processing) 자산을 필요로 하는 사람들에게 매우 적합합니다. 그 기능의 조합은 훌륭한 결과를 보장하여 확산 처리 사업 (diffusion processing business) 의 직원들에게 훌륭한 선택이되었습니다.
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