판매용 중고 ASM A 412 #9176796

ASM A 412 Diffusion Furnace는 고급 Diffusion Bonding 및 Epitaxial 성장 기술을 위해 강력하고 신뢰할 수있는 도구입니다. 반도체 장치 제작, MEMS (microelectromchanical system) 장치, 고급 프로세스 장치 기술, 고급 패키지 등 다양한 애플리케이션에 적합합니다. ASM A412 확산 용광로에는 수평 배열, 쿼드 존, 정상 상태, 진공 제어 수직 용광로, 4 구역, 3000 W 다결정 열판 및 웨이퍼 안정화 메커니즘이 장착되어 있습니다. 웨이퍼 안정화 (wafer-stabilizing) 메커니즘은 확산 로의 주요 장점 중 하나 인 웨이퍼 온도의 높은 균일 성을 보장합니다. 용광로의 온도 범위는 실온에서 1200 ° C입니다. 온도 안정성은 0.1 ° C 이내에 유지 될 수 있으며 온도 균일성은 일반적으로 0.5 ° C보다 좋습니다. 퍼니스에는 다양한 기능과 액세서리도 제공됩니다. 예를 들어, 퍼핑 속도를 향상시키고 확산 프로세스 전에 진공을 최대 1E-4 토르 (1E-4 Torr) 까지 설정하는 데 걸리는 터보 펌프 (turbo pump) 와 공정 동안 압력 및 가스 흐름을 정확하게 제어 할 수있는 가스 개방 및 배기 포트 (gas opening and exhaust port) 가 있습니다. 용광로는 또한 스퍼터 에칭 효과를 줄이기 위해 독특한 반회전 메커니즘을 가지고 있습니다. 엔드 플레이트는 최대 8 "직경의 샘플 크기를 수용 할 수 있습니다. 더욱이, 퍼니스는 하단 금속 가열 요소와 저온 에피 택시 성장 및 산화, 특정 전도 패턴 증착, 방사선 경화 및 빠른 열 아닐링, 레이저 보조 금속 패턴 (laser-assisted metal patterning) 을 사용하여 광범위한 응용 분야를 제공합니다. 전반적으로, 412 확산 퍼니스는 고급 확산 본딩 및 Epitaxial 성장 기술에 이상적인 선택입니다. 온도와 균일성, 견고하고 신뢰할 수 있는 설계, 다양한 기능과 액세서리 (accessory) 를 손쉽게 제어할 수 있어 다양한 어플리케이션에 적합합니다.