판매용 중고 ASM A 412 #9176795

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ASM A 412
판매
ID: 9176795
웨이퍼 크기: 12"
Vertical LPCVD furnace, 12" Dual reactor.
ASM A 412는 반도체 결정 성장 응용 프로그램을 위해 설계된 확산 로와 액세서리입니다. "퍼니스 '에는 고급 자동 조절 방식 의 확산 소스 장비 가 장착 되어 있어서, 확산 속도 와 온도 를 정확 히 제어 할 수 있다. 확산 용광로는 또한 균일 한 난방 시스템과 단단한 바디 디자인 (body design) 을 갖춘 고 토렌스 챔버를 특징으로합니다. 용광로는 전체 확산 과정에서 균일 한 확산 결과를 제공 할 수 있습니다. 균일 난방 장치 (Uniform-heating unit) 는 챔버 온도와 가스 흐름 속도가 프로세스 전체에서 일관되게 유지되도록 보장합니다. 확산 용광로는 또한 프로그램 가능한 멀티 존 (multi-zone) 보호 머신을 특징으로하여 오염 및 운영자 오류의 가능성을 줄입니다. 용광로 (furnace) 는 웨이퍼의 로드 및 언로드를위한 빠른 응답 시간을 가지며, 사용자에게 빠른 처리 시간을 제공합니다. 급속한 확산 (rapid diffusion) 과정을 통해 확산 프로세스의 손실을 줄이고 제품 수율을 향상시킬 수 있습니다. 또한, ASM A412 확산 로의 독특한 디자인은 금을 방지하거나 오염을 운반할 수 있습니다. 용광로는 콜드 (cold) 및 핫 (hot) 작동에 모두 사용될 수있는 다기능 진공실을 사용합니다. 이 기능은 특히 재료 레이어를 배치하거나 기판의 다중 레이어 시스템 (multiple-layer system) 을 제작하는 데 유용합니다. 또한, 진공실은 신속한 대피 및 빠른 압력 변화를 허용하도록 설계되었습니다. 이 퍼니스는 또한 다양한 응용 프로그램에 맞게 다양한 입/출력 (input/output) 구성을 제공합니다. "가스 '의 흐름 과 온도 를 조절 하기 위한 여러 개 의" 포트' 와 문제 의 사격 과 조절 을 위한 여러 가지 지표 와 경보 가 있다. 이렇게 하면 사용자가 절차를 조정하고, 공구의 상태를 확인하고, 프로세스를 더 빨리 선택할 수 있습니다. 또한, A 412 퍼니스에는 확산 공정의 효율적인 제어 및 모니터링을 위해 샘플 홀더, 셔터, 서모커플 등 다양한 액세서리가 포함되어 있습니다. 용광로에는 열 융합, 수냉식, 조합 표시기/연동 스위치 등 다양한 추가 안전 기능이 포함되어 있습니다. 전반적으로, A412 확산 로와 액세서리는 반도체 결정 성장 응용 프로그램을 위해 안정적이고 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 이 용광로 (furnace) 는 안전하고 효율적인 작업 환경을 홍보하면서 균일하고 반복 가능한 결과를 제공 할 수 있습니다.
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