판매용 중고 ASM A 412 #9176794

ASM A 412는 고성능 웨이퍼 레벨 재료를 위해 설계된 확산 로와 액세서리입니다. 특히, 고온 초전도체, MEMS 장치, MEMS 센서 및 박막 트랜지스터와 같은 박막 증착이 필요한 응용 분야에 적합합니다. 장비의 최대 온도는 1350 ° C이며 고온 처리가 가능합니다. 용광로 후드 (furnace hoods), 소스 재료 (source materials) 및 앰풀 (ampoules) 에 대한 다양한 옵션을 사용하여 쉽게 구성할 수 있습니다. ASM A412 퍼니스는 휴대용 롤링 카트 (rolling cart) 또는 소형 벽면 마운트가 포함 된 스탠드에 장착됩니다. 경보 시스템 (alarm system), 용광로 온도 (furnace temperature) 가 범위를 벗어난 경우 자동 정지 (automated stop) 등 다양한 자동 안전 기능이 특징입니다. 이 용광로 는 "스테인레스 '강철" 후오드' 에 의해 보호 되어 대기 를 정확 하게 조절 하고 "가스 '누출 을 방지 한다. 이 장치는 최대 7 개의 독립 세트 포인트 (set point) 로 대기 압력을 제어하도록 프로그래밍 될 수 있으며, 기계에는 일련의 진단 기능 (diagnostic features) 이 포함되어 있어 문제 해결 및 유지 보수가 용이합니다. 퍼니스는 여러 액세서리로 사용자 정의 할 수 있습니다. 여기에는 다중 세그먼트 웨이퍼 홀더, 앰풀 및 앰풀 홀더 및 특수 재료가 포함됩니다. 탄화 실리콘 머플 (silicon carbide muffle) 은 최대 50 ° C/sec의 조절 가능한 난방 속도로 웨이퍼의 빠른 열 처리를 허용합니다. 이 공구에는 이원자 대기 인젝터 (diatomic atmosphere injector) 가 포함되어 있어 가스 유속을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이를 통해 웨이퍼의 빠른 가열과 냉각이 가능합니다. 용광로에는 또한 열전대 자산, 전자 압력 게이지, 진공 펌프 등 다양한 보조 장비가 포함되어 있습니다. 온난화 (Integrated Thermocouple) 모델을 사용하면 연마 배기 (Fume Exhaust) 를 정확하게 제어할 수 있으며, 용광로 및 웨이퍼의 온도를 모니터링하는 데 사용할 수 있습니다. 압력 "게이지 '는 다른 처리 단계 에 대한 대기 압력 을 정밀 하게 제어 하고 진공" 펌프' 는 "챔버 '에 있는 높은 진공 상태 를 유지 할 수 있게 해 준다. 요약하면, A 412 확산 로와 액세서리는 웨이퍼 레벨 재료의 효율적이고 안전한 증착을 위해 설계되었습니다. 이 장비는 다양한 자동 안전 기능 (Automated Safety Features), 조절 가능한 대기 압력, 다양한 보조 장비를 갖추고 있어 웨이퍼의 열 처리를 단순화하고 최적화합니다.