판매용 중고 ASM A 412 #9137395

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ID: 9137395
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2011
Vertical LPCVD furnace, 12" P/N: 2E0082-06-01 CIM: E84, SECS/GEM, GEM300 Nitride furnace (2) Ports Protocol zone: FEOL SMIF Handler Chamber 2011 vintage.
ASM A 412는 반도체 생산과 같은 산업 응용 분야에 사용되는 확산 로입니다. 유연한 생산 및 높은 처리량을 위해 멀티 존 (multi-zone) 디자인의 400mm 수직 퍼니스입니다. 용광로는 또한 에너지 절약 기술과 향상된 열 동질성을 갖추고 있습니다. 용광로의 온도 범위는 250 ° C - 1250 ° C이며 가열 요소는 고온 합금으로 만들어집니다. 퍼니스에는 프로세스 반복성 및 안정적인 작동을 위해 완전한 자동화 (full automation) 가 장착되어 있습니다. ASM A412의 주요 부분은 침대 판, 입구 및 콘센트 시스템, 바디, 덮개 및 가열 요소의 전원 공급 장치입니다. 침대 판은 용광로의 기초이며, 최대 내구성을 위해 고급 알루미늄 합금으로 만들어집니다. 입구 및 콘센트 시스템은 기판 가열의 최대 균일성을 위해 설계되었습니다. 용광로의 몸체는 세라믹 섬유로 만든 열 단열과 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 만든 외부 패널로 이중 벽으로 되어 있습니다. 뚜껑은 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며 2 개의 시야 포트와 강화 리프팅 핸들이 장착 된 단단히 밀봉 된 인클로저가 특징입니다. A 412의 가열 요소는 분말 코팅 된 실리콘 카바이드 로드로 구성됩니다. 이 요소는 정확하게 제어하기 위해 조절 가능하고 안정적인 저전압 DC 전원 공급 장치를 사용합니다. 전원 공급 장치는 내장 안전 (Inbilt Safety) 규제를 통해 전압 및 전류 서지로부터 보호되며 원격으로 제어할 수 있습니다. A412에는 프로세스 자동화를 위해 다양한 액세서리가 제공됩니다. 액세서리에는 비활성 가스를 제어하기위한 통합 질량 흐름 컨트롤러 (Integrated Mass Flow Controller), 가열 요소에 AC 전원을 제어하기위한 타이머 릴레이 (Timer Relay), 프로세스 온도 모니터링을위한 피로미터 (Pyrometer) 가 포함됩니다. 퍼니스는 또한 프로세스 매개 변수를 자동화하고, 수소 농도를 계산하고, 압력을 모니터링하고, 납/주석 목욕 온도를 제어하는 데 사용할 수있는 PLC (programmable logic controller) 를 특징으로합니다. ASM A 412 (ASM A 412) 는 신뢰성이 높고 효율적인 확산 로로, 다양한 응용 프로그램 및 산업 프로세스에 적합합니다. 고급 기능, 사용자 친화적 설계, 품질 구성 요소 등을 갖춘 ASM A412 는 운영 환경에서 정확하고 반복 가능한 결과를 제공합니다.
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