판매용 중고 LEYBOLD HERAEUS ARES 1100 #9055005

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LEYBOLD HERAEUS ARES 1100
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ID: 9055005
Box coater.
LEYBOLD HERAEUS ARES 1100은 정밀 저항 부품 생산을 돕기 위해 설계된 완전 자동화 및 프로그래밍 가능한 포토 esist 스핀 코팅 장비입니다. 이 시스템은 ARES 1100 코팅 및 준비 개념을 사용하여 가능한 최고 코팅 품질을 보장합니다. LEYBOLD HERAEUS ARES 1100에는 기지국 진공 장치, 메인 코팅 챔버, 프리 클리너 챔버 및 포스트 클리너 챔버가 장착되어 있습니다. 포토 esist, 폴리 이미 이드, 레이저 레지스트 및 기타 재료 (웨이퍼, 기판 및 기타 구성 요소) 의 정밀 코팅을 가능하게하도록 설계되었습니다. ARES 1100 기계는 정밀 코팅 및 준비 개념을 사용하며, 자동 프로세스 제어, 시간 제어 증착주기, 통합 프로세스 모니터링, 통합 도량형 모니터링, 좁은 저항 아키텍처 설계, 고급 저항 전송 기술 등 여러 가지 고유 한 기능이 있습니다. 이 도구는 일관되고 재현 가능한 결과로 photoresist, polyimides 및 laser resist의 반복 가능한, 고품질, 두꺼운 필름 코팅을 제공하도록 설계되었습니다. 또한 이 자산은 사용자에게 몇 가지 추가 이점을 제공합니다. 재료의 두꺼운 필름과 얇은 필름을 모두 배치 할 수있는 LEYBOLD HERAEUS ARES 1100은 0.2um만큼 두껍고 100nm만큼 얇은 웨이퍼를 코팅 할 수 있습니다. 모델의 메인 코팅 챔버는 3 "웨이퍼, 4" 웨이퍼, 6 "웨이퍼 및 8" 웨이퍼를 포함한 다양한 웨이퍼 모양과 크기를 수용 할 수도 있습니다. 또한, 통합 프로세스 및 도량형 모니터링은 증착 프로세스 동안 웨이퍼 두께와 접착을 실시간으로 모니터링합니다. ARES 1100은 기존의 스핀 코팅 방법에 비해 처리 시간을 크게 줄입니다. 또한 사용자는 웨이퍼 크기와 모양을 정확하게 제어 할 수 있으며, 정확한 필름 두께를 빠르고 정확하게 증착 할 수 있습니다. 마지막으로, 이 자동 장비 (automated equipment) 의 기능으로 인해 수동 조정이 필요하지 않으므로 대용량 운영 환경에서 사용할 수 있습니다.
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