판매용 중고 DNS / DAINIPPON WS-820L #9391878
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DNS/DAINIPPON WS-820L 습식 스테이션은 고정밀 석판화 및 고급 반도체 기술 처리에 사용되는 최첨단 반도체 장비 장비입니다. 이 시스템은 반도체 처리 시스템 제조업체 인 DNS와 반도체 재료 제조업체 인 다인폰 (DAINIPPON) 이 공동으로 개발하여 최고 품질의 웨이퍼 노출 결과를 제공합니다. DNS WS820L은 전자 빔, 쌍극자 조명과 같은 고급 고해상도 리소그래피 (lithography) 기술, 전자 빔 스캔 및 패턴 (e-beam scanning and patterning) 을 사용하여 기능 정의와 상대적으로 큰 오버레이를 크게 개선합니다. 그것은 6 축, 하이브리드 e-beam 장치를 가지고 있으며, 매우 큰 노출 영역에 비해 우수한 프로세스 균일성을 제공합니다. 또한 하이브리드 머신 (Hybrid Machine) 은 용량 슬라이더 및 기타 매개변수에 대한 뛰어난 즉석 관리 기능을 제공하여 프로세스 정확성과 반복 성을 향상시킵니다. 또한 이 도구의 향상된 기능을 통해 노출 시간을 줄이고 생산성을 향상시킬 수 있습니다 (영문). 이 자산은 고급 자동화 기능을 제공하여 대규모 및 소규모 웨이퍼 (wafer) 노출 작업에 적합합니다. 동력 XY 스테이지 드라이브, 경량 안전 도어, 프로그래밍 가능한 자동 스테이지 드라이브, 자동 WaferMover 모델 또는 수동 XY 스테이지 모션 및 수동 웨이퍼 처리 옵션이 있습니다. 또한, 자동 습식 프로세스 스테이션 및 처리 장치, 고해상도 에지 비전 (edge vision) 장비 및 정확한 웨이퍼 이미징을위한 고정밀 비전 시스템이 장착되어 있습니다. 또한 DAINIPPON WS 820L은 고유 한 웨이퍼 ID 감지 장치를 제공하여 교차 오염 및 다중 프로세싱 언더 클리닝 작업을 방지하기 위해 웨이퍼를 정확하게 읽고 식별합니다. 또한, 기계는 정확한 기판 처리를 위해 레이저 기반 터치 위치 센서, 정확한 온도 조절을위한 온도 컨트롤러, 정확한 프로세스 매개변수 및 제어를 위한 사용자 정의 컨트롤러 (custom controller) 와 통합됩니다. 또한, KSC-77 포토 esist를 포함한 다양한 습식 화학 물질과 호환되며, 2 인치에서 12 인치의 다양한 웨이퍼 크기를 지원합니다. 전반적으로, WS-820L 습식 스테이션은 최고 품질의 웨이퍼 노출 결과를 제공하기 위해 개발 된 고급, 다용도 반도체 처리 도구입니다. 다양한 자동화 기능을 갖추고 있으며, 자동화된 습식 프로세스 (wet process) 와 처리 시스템 (handling system) 과 통합되어 대규모 및 소규모 웨이퍼 (wafer) 노출 작업을 모두 제공합니다. 또한 웨이퍼 ID 감지 에셋 (wafer ID sensing asset) 과 다양한 고정밀 프로세스 제어 컴포넌트가 장착되어 있어 사용자가 정확하고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다.
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