판매용 중고 VEECO / SLOAN DEKTAK V-200 Si #9412436
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VEECO/SLOAN DEKTAK V-200 Si는 실리콘 기반 재료를 위해 특별히 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 반도체 장치 및 인쇄 회로 보드의 비접촉, 3D 표면 측정을 제공합니다. 이 시스템은 반도체 제조업체의 엄격한 요구 사항을 충족하기 위해 측정값의 높은 정확도, 해상도, 반복성, 데이터 수집의 완전한 자동화, 유연성을 제공합니다. V-200 Si는 직경이 최대 200mm 인 웨이퍼를 측정 할 수있는 고정밀 3 축 현미경입니다. 50-200 미크론 고정밀도 수직 측정 축을 갖추고 있으며, 업계 최고의 정확성과 측정 반복 성을 제공합니다. 이 단위는 플랫 및 커브 서피스를 측정하도록 설계되었습니다. 지형, 두께, 트렌치, 접촉 비아, 게이트 산화물 등의 활성 장치 수준 기능을 측정 할 수 있습니다. V-200 Si는 X, Y 및 Z 축의 경우 0.2nm 해상도, 320nm/s 최대 트래버스 속도를 가진 고속, 5 축 모션 컨트롤 머신으로 구동됩니다. 또한 기울이기 (skew), 활 (bow) 및 비틀기 (twist) 교정을 통해 서피스 측정의 정확도를 향상시킵니다. 다지역 데이터 수집 자산은 빠르고 정확한 데이터 수집을 보장합니다. 또한, 특정 측정에 대해 프레임 속도 (최대 9fps) 를 설정할 수 있으므로 데이터 오버헤드가 적은 상태에서 더 빠른 결과를 얻을 수 있습니다. 이 모델에는 디바이스의 성능에 필수적인 전용 소프트웨어 (software) 와 하드웨어가 장착되어 있습니다. 소프트웨어에는 GUI 와 데이터 분석 프로그램 (data analysis program) 이 포함되어 있으며, 사용자가 수집한 데이터를 제어 및 분석할 수 있습니다. 또한 사용자의 기존 품질 및 제조 제어 (Manufacturing Control) 시스템에 통합될 수도 있습니다. 또한, 이 장비는 특수 자동화 (automation) 및 안전 (safety) 기능으로 설계되어 운영자의 안전을 유지하면서 빠르고 효율적으로 테스트할 수 있습니다. VEECO V200-SI는 일관되고 정확한 결과를 제공할 수 있으며, 이는 반도체 및 인쇄 회로 기판 웨이퍼를 측정하는 데 이상적입니다. 완벽하게 자동화된 기능, 유연한 데이터 수집, 높은 정확도, 통합형 소프트웨어 등을 갖춘 이 시스템은 반도체 업계에 매우 유용한 자산입니다.
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