판매용 중고 VEECO / SLOAN DEKTAK V-200 Si #139116
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ID: 139116
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2001
Stylus Profiler, 8"
Range: 0.3-30mg stylus force
XY Travel: 8" x 8"
Rotation: 360º
Remote controlled video camera
Zoom range: 60x-420x
Vertical range: 25A - 2620A
Vertical resolution: 1A at 65KA, 10A at 655KA, 40A at 2620KA
Scan length: 50 microns to 200 mm
Automatic stage leveling
Maximum sample thickness: 45mm
Printer: Ominprint 426
Power: 120V, 5.5 amps, 50/60Hz
2001 vintage.
VEECO/SLOAN DEKTAK V-200 Si는 반도체 산업에서 널리 사용되는 다기능 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 수작업 측정 (manual measurements) 과 고도로 자동화된 테스트 및 측정 시스템 (How Automated Testing and Measurement System) 간의 격차를 해소합니다. 빠른 스캐닝 (scanning), 높은 정확도, 낮은 소유 비용 (TCO) 의 고유한 조합인 V-200 은 최소한의 시간과 노력으로 wafer 의 중요한 매개변수를 빠르고 정확하게 측정할 수 있습니다. V-200 을 사용하면 포괄적인 측정/분석 정보를 빠르고 쉽게 얻을 수 있습니다. 사용자에게 친숙한 휠 메뉴를 통해 모든 장치 기능에 쉽게 액세스할 수 있습니다. 기계는 접착, 공백, 표면 평평함, 결함 등 웨이퍼의 지형을 측정 할 수 있습니다. 또한, 공구는 두께, 서피스 구조, 전기 특성 및 광학 특성과 같은 물리적 특성을 측정 할 수 있습니다. 또한, V-200은 실리콘 구조의 응력을 분석 할 수 있으며, 산화물, 질화물 및 규산염 물질을 분석 할 수 있습니다. 자산은 정확성과 정확성을 저해하지 않고 설계되었습니다. V-200의 정확성은 온도 조절 단계, 공준기 광학, 자동 초점 모델, 전동식 Z축 단계와 같은 기능을 통해 유지됩니다. 또한, 이 장비는 고전적인 Dektak 측정 시스템 (Dektak Measurement System) 의 고전적인 비 접촉 스캔 기능과 반 경험적 및 조정 된 레시피를 포함한 모든 유형의 샘플을 읽을 수있는 기능을 갖추고 있습니다. V-200 은 또한 복잡한 마스크 및 샘플을 자동 포커싱하기 위한 자동 초점 (autofocus) 및 자동 접합 (autocolimation) 과 같은 더욱 향상된 기능을 제공합니다. 이 장치에는 고급 필터 처리 기술이 포함되어 있으며, 소음이 줄어든 원활한 측정이 가능합니다. 그림 이미징 기능을 통해 사용자는 관심 영역을 빠르고 정확하게 검사 할 수 있습니다. 고속 컨트롤러는 초당 최대 2000 포인트 (wafer) 의 빠른 데이터 획득과 1mm (120mm) 의 광범위한 측정 영역을 지원합니다. 결론적으로, VEECO V200-SI는 고급 기능과 반도체 업계의 광범위한 어플리케이션을 제공하는 다기능 웨이퍼 테스트 및 도량형 기계입니다. 이 도구의 정확성과 속도는 일관되게 정확한 결과를 보장하므로 테스트, 도량형 (metrology), 데이터 분석 (data analysis) 이 필요할 때 이상적인 선택이 됩니다.
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