판매용 중고 VEECO / SLOAN DEKTAK 8 #9234670
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VEECO/SLOAN DEKTAK 8은 두께, 평평, 활/뒤틀기, 표면 거칠기 및 결함 밀도와 같은 반도체 웨이퍼의 중요한 매개변수를 측정하는 데 사용되는 자동 웨이퍼 테스트 및 도량형 기기입니다. 통합 듀얼 옵티컬 헤드 디자인, 듀얼 가변 속도를 갖춘 정밀 인코더 장비, 자동 웨이퍼 처리, 포지셔닝, 스캐닝을 위한 CompactHandler II 등이 있습니다. VEECO DEKTAK 8 (VEECO DEKTAK 8) 은 변화하는 웨이퍼 특성에 적응하는 혁신적인 에지 감지 및 신호 반환 알고리즘 덕분에 높은 정확도와 반복 가능한 측정을 제공합니다. 또한 자동 참조 점 기반 웨이퍼 스캐닝 (automated reference point-based wafer scanning) 을 통해 참조점에 대한 사용자 정의 스캐닝 영역을 사용할 수 있습니다. 평평/뒤틀기 측정을 위해 SLOAN DEKTAK 8은 와퍼의 매우 작은 두께 변화를 측정 할 수있는 최첨단 2 차원 레이저 변위 센서를 사용합니다. 또한 안정성과 반복성 (repeatability) 을 위해 하이엔드 (High-End) 단계를 사용하여 매우 정확한 측정이 가능합니다. 데크 탁 8 (DEKTAK 8) 에는 표면의 거칠기 측정을 위해 와퍼 표면을 광학 헤드 내부로 옮길 수있는 동력 스테이지가 장착되어 있습니다. 이 장치는 서브 미크론 레벨 표면 불완전성을 감지, 측정 및 분석 할 수 있습니다. 결함 검사를 위해 VEECO/SLOAN DEKTAK 8에는 컴퓨터 제어 자동 초점 인터페이스와 결합 된 고해상도 CCD 카메라가 장착되어 있으며, 자동 이미징, 결함 식별, 분석 및 정확한 높이 확인이 가능합니다. 이 시스템에는 자동 결함 분류 및 결함 데이터베이스 쿼리 기능도 있습니다. 또한, VEECO DEKTAK 8은 클린 룸 사용을 위해 설계되었으며, 특별히 설계된 환경 챔버를 사용하여 입자 생성을 줄이고 오염 물질로부터 최대의 보호 기능을 제공합니다. 이 도구는 또한 공압 자산을 통합하여 테스트 과정에서 동적 분위기를 유지합니다. SLOAN DEKTAK 8은 모델 및 데이터 분석을 제어하기 위해 광범위한 소프트웨어 응용 프로그램을 제공합니다. 이러한 응용 프로그램에는 자동 조정, 데이터 로깅, 웨이퍼 매핑, 결함 감지 및 보고 등이 포함됩니다. 이 기기는 또한 사용자 정의 매개변수 (user-defined parameters) 를 폭넓게 선택하여 각 테스트를 디바이스의 특정 요구 사항에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다. 전반적으로, DEKTAK 8은 매우 정교한 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로, 반도체 웨이퍼 측정에 대한 최고의 정확성과 반복 성을 제공합니다. 통합 하드웨어, 고급 소프트웨어 및 탁월한 환경 보호는 VEECO/SLOAN DEKTAK 8을 최신 반도체 제조에 적합한 선택으로 만듭니다.
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