판매용 중고 VEECO / SLOAN DEKTAK 3030 #9012550
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VEECO/SLOAN DEKTAK 3030은 반도체 응용 분야에 사용되는 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 나노 스케일 (nanoscale) 에서 장치 및 회로 특성을 정확하게 측정하도록 설계되었습니다. 이 장치에는 최대 150mm x 150mm의 넓은 작업 영역이있는 3 축 스테이지 디자인이 있습니다. 평면 웨이퍼 (planar wafer) 및 평면이 아닌 웨이퍼 (nonplanar wafer) 측정을 모두 위해 설계되어 사용자는 3D 공간에서 데이터를 정확하게 캡처할 수 있습니다. 최대 8 nm 해상도 (X 및 Y 축) 및 0.5 nm 해상도 (Z축) 로 고정밀 스캔이 가능합니다. VEECO DEKTAK 3030에는 빠르고 효율적인 웨이퍼 로드/언로드, 고속 스캐닝 머신, 명령 시퀀싱 및 조정 가능한 스캐닝 속도를 갖춘 디지털 제어 도구 등 처리량을 개선하도록 설계된 여러 기능이 있습니다. 이 자산은 강력한 전용 소프트웨어와 통합되어 테스트 매개변수 (test parameter) 를 사용자 정의하고 데이터를 빠르고 쉽게 분석할 수 있습니다. wafer topography, step height measurement, device profiling 및 lithographic fidelity를 포함하여 SLOAN DEKTAK 3030으로 광범위한 응용 프로그램을 실행할 수 있습니다. 이 모델은 플랫 웨이퍼 (flat wafer) 와 커브 웨이퍼 (curved wafer) 를 모두 측정 할 수 있으며 장거리 스캔, 오버레이 측정 및 다중 레이저 에치와 같은 기능을 포함합니다. DEKTAK 3030에는 다른 시스템보다 훨씬 빠른 작동을 보장하는 고급 안전 기능도 포함되어 있습니다. 디지털 신호 프로세서로 구동되며 ISO/IEC 61010 안전 표준을 준수합니다. 장비의 모든 구성 요소는 먼지 방지 (dust-proof) 방식이며 전기 노이즈로부터 보호되므로 가장 정확하고 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다. VEECO/SLOAN DEKTAK 3030은 강력한 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템으로, 다양한 응용 프로그램에 적합합니다. 넓은 작업 영역 (working area) 에 정확한 3축 설계가 적용되었으며, 높은 정밀도로 측정을 실행할 수 있습니다. 또한 명령 시퀀싱 (Command Sequencing), 조정 가능한 스캐닝 속도 (Adjustable Scanning Speed), 강력한 독점 소프트웨어와 같은 기능을 통해 사용자의 작업을 단순화할 수 있습니다. 마지막으로, 이 장치에는 정확성과 안전한 작동을 보장하기 위해 몇 가지 안전 기능이 있습니다.
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