판매용 중고 VEECO / SLOAN DEKTAK 3 #9192441
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VEECO/SLOAN DEKTAK 3 시스템은 웨이퍼 테스트 및 도량형을위한 다용도 플랫폼입니다. VEECO DEKTAK 3는 동급 최강의 엔지니어링으로 제작된 견고한 터치 앤 필트 (touch-and-feel) 기능을 갖춘 혁신적인 디자인으로, 표면 지형과 거칠기를 측정하는 내구성과 안정적인 도구를 제공합니다. 이 시스템에는 통합 워크스테이션, 내장 현미경, 프로그래밍 가능 또는 수동 제어 스테이션 등의 기능이 제공됩니다. 융통성 있는 "디자인 '으로 지름 이 2 내지 12" 인치' 에 이르는 다양 한 "웨이퍼 '크기 를 처리 할 수 있다. SLOAN DEKTAK 3에는 마이크로포지셔닝 스테이지 (micropositioning stage) 및 통합 인코더 (integrated encoder) 가 장착되어 있어 정확한 측정이 가능합니다. 이 고급 단계 기술은 서브 미크론 해상도를 허용합니다. 또한 프로파일 측정을위한 디지털 이미지 상관 관계 (digital image correlator) 와 필름 두께를 표시하는 아날로그 판독 장치 (analog readout) 도 포함되어 있습니다. DEKTAK 3의 통합 워크스테이션에는 강력한 마이크로 프로세서와 소프트웨어 패키지가 있습니다. 여기에는 벡터 프로파일 (Vector Profile) 과 같은 소프트웨어 도구가 포함되어 있으며, 동적 범위가 20nm ~ 50jm인 300,000 개의 데이터 포인트를 구입할 수 있습니다. 또한 고급 그래픽 출력을 통해 스키드 변형 (skid deformation) 및 경로 각도 (path angle non-uniformity) 와 같은 고급 매개변수를 측정할 수 있습니다. 또한 VEECO/SLOAN DEKTAK 3에는 표면 프로파일 측정 및 bas Relief 측정을위한 통합 분석 소프트웨어와 컨투어 분석 및 기본 플로팅 도구가 있습니다. 안정성 향상을 위해 VEECO DEKTAK 3은 온도 보상, 드리프트 보정 및 마이크로 회전 단계를 내장했습니다. 또한 일관된 프로브 커버리지 및 치수 측정 정확성을 보장하는 통합 빔 디플렉션이 있습니다. 이 시스템은 또한 노칭 (notching) 기능을 제공하여 빠르고 쉽게 패턴을 인식할 수 있습니다. 종합적인 기능과 다양한 디자인의 SLOAN DEKTAK 3는 웨이퍼 테스트 및 도량형에 이상적인 플랫폼입니다. '사용자 친화적 기술' 과 '정확한 측정 기능' 은 고밀도 측정이 필요한 모든 연구/산업용 애플리케이션에 적합합니다.
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