판매용 중고 VEECO Oasis 3000 #9002001
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VEECO Oasis 3000 (VEECO Oasis 3000) 은 생산 환경에서 와퍼의 정확하고 자동화된 도량형 및 테스트를 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템에는 정교한 옵틱, 모션 제어 시스템 및 우수한 측정 정확도가 장착되어 있습니다. 오아시스 3000 (Oasis 3000) 은 웨이퍼 포지셔닝과 웨이퍼 표면을 가로지르는 자동화된 패턴 측정을 위해 5축 동작 제어를 제공합니다. 이 장치의 광학 머신은 최대 90 배의 배율을 제공하는 2 개의 미러 이미징 도구로 구성되어 있으며, 다양한 스케일에 걸쳐 중요한 기능을 측정할 수 있습니다. 내장형 이미징 전자 장치는 정확한 판독을 위해 최고의 해상도를 제공합니다. VEECO Oasis 3000은 다양한 까다로운 측정에 적합한 강력하면서도 사용이 간편한 자산입니다. 진정한 웨이퍼 스케일 스텝 앤 스캔 (Wafer Scale Step-and-Scan) 모드는 대형 웨이퍼를 신속하게 처리하는 반면, 균일성 기능은 탁월한 정확성과 반복 성을 제공합니다. 또한, Oasis 3000 은 성능 게이트 (Performance Gate), 프로세스 마진 (Process Margin) 평가, 실제 테스트 결과와 예상 테스트 결과의 비교 등 주요 특성을 자동으로 파악하는 등 강력한 데이터 분석 기능을 제공합니다. 따라서 운영 프로세스의 추세와 잠재적인 문제를 신속하게 파악하여 신속한 프로세스 최적화 (Fast Process Optimization) 를 실현할 수 있습니다. VEECO Oasis 3000은 가장 가혹한 생산 환경에서 살아남도록 설계되었습니다. 스테인레스 (Stainless) 스틸 프레임은 견고성을 제공하며, 전원 장애 후 재설정 없이 지속적인 작동을 가능하게 합니다. 이 모델은 내장형 액체 냉각을 제공하며, 최고 수준의 초고성과 최소 소음을 위한 팬이 없습니다. 전반적으로, Oasis 3000 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비는 안정적이고, 정확하며, 반복 가능한 결과를 제공할 수 있으며, 대용량 생산 환경에서 효율적인 생산 및 품질 관리 기능을 제공합니다. 첨단 옵틱과 모션 컨트롤 시스템 (Motion Control System) 을 통해 운영자는 최대 수율과 성능을 달성하는 데 필요한 유연성과 정밀도를 제어할 수 있습니다.
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