판매용 중고 VEECO / DIGITAL INSTRUMENTS VX 200 #9063709
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ID: 9063709
빈티지: 2002
Atomic force profiler
Model #: DUVx200
Long scan profiles: Die length (up to 100mm)
Profile stage: up to 100mm
1μm X-Y axis repeatability
6μm vertical range
Superior step height repeatability: <5Å - 0.1μm and 1μm steps (1σ ); 20 traces at
20μm/sec scan speed
Unsurpassed lateral resolution: Low force, small tip radius (<10nm nominal)
True dishing and erosion analysis
OneScan Profiling: Zoom in on long scans without loss of resolution
High speed profiling: Up to 200μm/sec
Auto tip evaluation
Automatic exchange in ~4 minutes
24-tips per cassette
Dual cassette for different tip types
Throughput:
7wph (5 sites) for profiles
5wph (5 sites) for images
Profiler mode:
Data points/scan: 262,000
Imaging mode:
512 x 512 data points
Up to 65μm square area scans
Die scale imaging
3D visualization and analysis software
Optics:
Dual optics with 150μm and 600μm viewing area
Low magnification optics (3mm viewing area)
Capacity: 10 kA
220-25- VAC, 3.6 A
2002 vintage.
VEECO/DIGITAL INSTRUMENTS VX 200은 제조업체가 현재 및 차세대 반도체 장치에 대한 가속 수명 주기 테스트 및 신뢰성 평가를 수행 할 수 있도록 설계된 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템의 하이엔드 자동화 기능과 광학 기반 도량형 (optically-enabled metrology) 도구는 프로세스 제어 및 치수 모니터링에서 탁월한 정확성과 신뢰성을 제공합니다. VEECO VX 200 장치는 직경이 2 ~ 8 인치 인 웨이퍼 크기로 한 번에 최대 3 개의 웨이퍼를 테스트하도록 설계되었습니다. 또한 기계는 200 ~ 500 미크론 또는 1,500 ~ 2,500 미크론의 웨이퍼 두께를 처리 할 수 있습니다. 이 도구에는 고급 자동 테스트 컨트롤러, 높은 처리량 CAT (computer aided test) 시스템 지원, 고급 웨이퍼 프로브 카드 등 다양한 기능이 포함되어 있습니다. 이러한 기능의 조합을 통해 프로세스 매개변수 (parameter) 의 빠른 자동 테스트 및 측정이 가능해지고, 디바이스 기능의 객관적인 테스트와 특성화에서 향상된 정확성과 반복성 (repeatability) 을 얻을 수 있습니다. DIGITAL INSTRUMENTS VX 200의 강력한 광 하위 시스템은 자산의 주요 자산으로, 입자 크기, 결함 밀도, 칩-웨이퍼 정렬, 기판 두께 등 주요 특성의 측정 및 특성을 측정할 수 있습니다. 이 측정 및 분석을 통해 장치 설계자는 성능과 안정성을 최적화 할 수 있습니다. 이 모델의 직관적인 사용자 인터페이스는 내장 도량형 기능, 통계 소프트웨어 (statistical software), 프로세스 추적 도구 (process traceability tools) 등 고급 장비 제어 옵션에 쉽게 액세스할 수 있습니다. 또한 포괄적인 소프트웨어 애플리케이션을 자랑하며, 데이터 액세스, 기기 보정, 테스트 실행 등을 손쉽게 수행할 수 있습니다. VX 200 시스템은 까다로운 테스트 및 도량형 어플리케이션의 엄격함을 견뎌낼 수 있도록 설계되었습니다. 견고하고 안정적인 설계를 통해 최신 생산 환경에 통합 할 수 있습니다. 이 장치는 다양한 테스트 및 도량형 시스템과 호환되며, 온보드 진단 (on-board diagnostics) 및 경고 (alert) 를 통해 시스템 다운타임 속도가 낮습니다. 전반적으로 VEECO/DIGITAL INSTRUMENTS VX 200은 제조업체가 빠르고, 정확하며, 신뢰할 수있는 웨이퍼 테스트 및 도량형을 수행 할 수있는 고급 도구입니다. 디바이스 설계자는 자동화 기능과 강력한 광 서브시스템 (Optical Subsystem) 의 조합으로, 성능을 향상시키고 디바이스 수율을 극대화하기 위해 핵심 특성을 모니터링하고 특성화할 수 있습니다. 이 자산의 견고하고 신뢰할 수있는 디자인은 현대 제조 공정 (Modern Manufacturing Process) 의 엄격한 요구를 견딜 수 있습니다.
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