판매용 중고 THERMA-WAVE TP 3300 #9105606

THERMA-WAVE TP 3300
ID: 9105606
Ion implant monitor system Includes a second CPU.
THERMA-WAVE TP 3300은 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로, 고급 반도체 및 MEMS 장치 제조업체에 대해 빠르고 안정적인 물리적 검사 및 항복 분석을 제공합니다. 이 시스템은 적외선 열 이미징 (infrared thermal imaging) 을 사용하여 기존의 광학 방법을 통해 밝혀질 수없는 물리적 결함을 특성화합니다. 이 장치는 뛰어난 열 대비를 제공하는 전체 기능을 갖춘 600 x 600 픽셀 배열 검출기에 의존합니다. 탐지기 (detector) 는 다양한 웨이퍼 재료와 두께를 위해 거의 최적의 스펙트럼 범위에서 이미징 광학과 동기화됩니다. 이 장치는 또한 고급 처리 컴퓨터 (Advanced Processing Computer) 와 자동화된 제어 소프트웨어 (Automated Control Software) 를 통해 패턴화된 웨이퍼를 빠르고 안정적으로 테스트합니다. TP 3300 의 고해상도 이미징 기능은 고급 장애 위치 기능 (fault location function) 과 결함 인증 (defect authentication) 으로 보완되어 각 웨이퍼를 정확하고 철저하게 검사합니다. 이 장치의 열 이미징 (thermal imaging) 은 또한 웨이퍼의 핫스팟 사이의 열 기울기를 줄이고 수동 온도 조정이 필요하지 않습니다. 또한이 장치에는 쉬운 설정 및 웨이퍼 분석을 위해 "원터치" 기능이 있습니다. 통합 머신 (Integrated Machine) 에는 프로세스 속도 최적화, 재구성 및 업그레이드 단순화를 위한 상호 교환 가능한 테스트 헤드 (Test Head) 설계도 포함되어 있습니다. 마지막으로, 이 도구는 수동 테스트를 위한 간편한 수동 무시 옵션을 갖춘 인체 공학적 설계를 가지고 있습니다. THERMA-WAVE TP 3300의 테스트 기능은 다양한 웨이퍼 유형 및 프로세스 환경에 적합합니다. sili-con, GaAs 및 SOI 웨이퍼와 같은 업계 표준 웨이퍼 재료와 호환되며 사파이어, GaN 및 금속 스택 기판에서 결함을 감지 할 수 있습니다. 이 자산은 고급 웨이퍼 테스트를 위해 국제 SEMI (International SEMI) 표준에 의해 인증되었으며 많은 주요 도량형 도구와 호환됩니다. 전반적으로 TP 3300 웨이퍼 테스트 및 도량형 모델은 고급 반도체 및 MEMS 장치 제조업체에 이상적인 솔루션입니다. 자동화된 광/열 이미징 (optical/thermal imaging) 기능은 수동 방식보다 빠르고 안정적인 웨이퍼 (wafer) 검사를 제공하며, 직관적인 사용자 인터페이스와 테스트 헤드 설계를 통해 운영 환경과 연구 환경 모두에서 탁월한 선택이 가능합니다.
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