판매용 중고 SOLARIUS LaserScan 300 #293596806

SOLARIUS LaserScan 300
ID: 293596806
Laser profilometer Upgraded to laser scan system.
SOLARIUS LaserScan 300은 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비로, 반도체 장치 및 프로세스 개발을 위해 빠르고, 정확하며, 접촉하지 않는 도량형을 제공합니다. 이 시스템은 완전한 모듈식 설계를 기반으로 하며, 매우 높은 수준의 성능을 제공합니다. 이 장치는 나노 스케일 (nanoscale) 에서 정확도를 제공하며, 기능을 100 나노 미터 미만으로 측정할 수 있습니다. 이를 통해 기계는 초얕은 접합, 3D 구조, 하위 표면 결함과 같은 고급 구조를 측정하는 데 이상적입니다. 고해상도 이미징 (High-Resolution Imaging) 기능은 기판의 특성과 결함 식별, 프로세스 최적화, 수율 증가에 사용될 수있는 기능을 포괄적으로 보여줍니다. 이 도구에는 고속, 고해상도 스캐너, 듀얼 빔 레이저 빔 소스가 장착되어 있어, 뛰어난 속도와 해상도로 기능을 측정할 수 있습니다. 수심 프로파일링, 전압 측정, 위상 대비 이미징 (phase contrast imaging) 과 같은 스캔 전자 현미경 및 광학 이미지에 대한 매우 높은 정확도 도량형 기능을 제공합니다. LaserScan 300 에는 혁신적인 데이터 분석 기능도 포함되어 있으며, 결함, 매개변수 및 제거 효과를 식별하는 강력한 툴링을 제공합니다. 이 자산에는 초저 프로파일 웨이퍼 스태킹 (ultra-low profile wafer stacking) 모델도 포함되어 있어 샘플 변경을 신속하게 수행하고 처리량을 높일 수 있습니다. 또한, 이 장비에는 각 샘플에 대한 샘플 처리, 설정, 메타 데이터 관리를 제어하는 소프트웨어도 포함되어 있습니다. 이를 통해 프로세스 각 단계의 전체 문서와 추적 가능성 (Traceability) 과 함께 운영자 (Operator) 안전성이 향상됩니다. 솔라리우스 레이저스캔 300 (SOLARIUS LaserScan 300) 은 반도체 업계에 이상적인 솔루션으로, 웨이퍼 테스트 및 프로세스 개발을 위한 비용 효율적이고 안정적인 선택입니다. EMC 의 고성능 기능, 신속한 데이터 획득, 탁월한 정확성 등으로 인해 가장 향상된 Wafer 테스트 및 Metrology 요구 사항을 완벽하게 충족할 수 있습니다.
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