판매용 중고 SLOAN Dektak 303 Auto II #9124954

ID: 9124954
Thin film measurement system Measuring range: 100 A to 1310KA Vertical resolution: 1A in the 65000A 10A in the 655KA 20A in the 131 Micron Data points per micron: 0.04 to 40 Scan length: 50 microns to 50 mm Leveling: 2 point programmable or cursor leveling Maximum sample thickness: 1.75 inches Sample stage diameter: 6.375 inches Stylus: 12.5 micron.
SLOAN Dektak 303 Auto II는 다양한 반도체 장치의 스텝 하이트를 측정하도록 설계된 자동 장비입니다. 이 다재다능하고 비용 효율적인 시스템은 고급 광학 현미경 (optical microscopy) 과 디지털 이미징 (digital imaging) 기능을 갖추고 있어 접촉 프로파일에서 반도체 기판의 평평한 표면으로의 수직 이동을 정확하게 측정 할 수 있습니다. 이 단위는 최대 1 마이크로미터 (micrometer) 까지 높은 정밀도로 피쳐 크기를 측정 할 수 있으므로 다양한 두께와 기판에서 웨이퍼 (wafer) 의 스텝 높이를 측정하는 데 이상적입니다. 이 기계 는 "텔레센트릭 '의 객관식" 렌즈' 와 경사진 "카메라 마운트 '를 갖춘 광학 현미경 을 이용 하여" 웨이퍼' 표면 의 높은 확대도 를 제공 한다. 이 렌즈는 이미지 왜곡 (image distortion) 과 광학 수차 (optical 수차) 를 최소화하면서 접점 (contact point) 의 명확한 이미지를 이미지 평면에 투영하도록 설계되었습니다. 또한, 이 도구는 이중 축 컴퓨터 제어 자동 초점 (auto-focus) 자산을 사용하여 각 피쳐를 정확하게 측정합니다. 전체 모델은 컬러 모니터, 키보드, 마우스 입력을 사용하여 GUI (Graphical User Interface) 를 통해 작동합니다. 이 직관적인 설계를 통해 사용자는 스테이지 이동, z 높이 교정, 센서 교정, 초점 등 측정하는 동안 모든 정밀 단계를 제어할 수 있습니다. 또한, 장비에는 샘플 기판의 다른 위치에서 웨이퍼를 추적, 측정 및 분석하기위한 소프트웨어 알고리즘이 포함됩니다. 데크 탁 303 오토 II (Dektak 303 Auto II) 에는 고해상도 CCD 이미징 레티클이 장착되어 있어 샘플 표면을 정확하게 볼 수 있으며, 이를 통해 단계 높이를 높은 정밀도로 측정 할 수 있습니다. 레티클 (reticle) 의 조정 가능한 위치를 사용하면 사용자가 뷰 (field of view) 를 제어할 수 있으므로 다양한 기판과 크기에 적합합니다. 또한, 시스템은 필드당 최대 256 개의 측정을 저장할 수 있으며, 반복 측정이 가능하며, 데이터 수집 시간이 단축됩니다. 전반적으로 SLOAN Dektak 303 Auto II는 효과적인 웨이퍼 테스터 및 도량형 도구입니다. 이 장치는 고급 광학 현미경 (Optical Microscopy) 과 디지털 이미징 기술 (Digital Imaging Technology) 의 조합으로 높은 정확도와 반복성으로 단계 높이를 측정하는 데 이상적입니다. 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 와 조절 가능한 레티클 (Reticle) 을 통해 컴퓨터가 사용자 친화적이고 쉽게 작동하므로 다양한 어플리케이션에 적합합니다.
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