판매용 중고 RUDOLPH MetaPulse 300 #9401107

ID: 9401107
빈티지: 2001
Film thickness measurement system 2001 vintage.
RUDOLPH MetaPulse 300은 매우 정확하고 신뢰할 수있는 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템입니다. 특히, 광학 및 태양 광 장치 (optical and photovoltaic device) 와 같은 고급 마이크로 일렉트로닉스 응용 프로그램에 사용되는 구성 요소의 박막 코팅 레이어의 품질을 분석하고 측정하는 데 사용될 수있다. MetaPulse 300은 박막 계층 및 넓은 영역 기판 모두에 대한 뛰어난 분석 기능을 제공합니다. 전통적인 파괴적인 테스트 기술과 비교하여 RUDOLPH MetaPulse 300은 비접촉, 비파괴 광학 기술을 사용하여 높은 정확도와 높은 해상도로 광학 특성을 측정합니다. 이것은 기판의 박막 층을 측정하는 데 적합하며, 결정 방향, 결함 및 기타 효과의 맵을 만드는 데 특히 적합합니다. MetaPulse 300에는 포괄적 인 도량형 솔루션을 제공하는 독점 RUDOLPH 4D 패키지가 제공됩니다. 여기에는 내장 고해상도 RGB 레이저 시스템 및 고급 옵틱이 포함됩니다. 그 결과, 웨이퍼의 광학 특성과 결함을 모두 식별하고 측정 할 수 있습니다. 또한, 결정질 방향 맵 (crystalline orientation map) 및 세부 서피스 지형 맵 (detailed surface topography map) 과 같은 기판 표면의 완전한 특성을 제공 할 수 있습니다. 루돌프 메타 펄스 300 (RUDOLPH MetaPulse 300) 은 박막 층에서 저항 및 커패시턴스와 같은 전기 특성을 측정하는 데 사용될 수도 있습니다. 이것은 어떤 식 으로든 샘플을 손상하거나 영향을 미치지 않고 수행 할 수 있습니다. 또한 결함 감지 (flaw detection) 및 측정 (measuration) 에 대한 고급 알고리즘이 포함되어 있어 이상을 감지하고 진단할 수 있습니다. 이 외에도 MetaPulse 300 은 구성 기능이 뛰어나며, 거의 모든 애플리케이션에 맞게 맞춤형으로 구성할 수 있습니다. 대용량 운영 환경에서 사용하도록 설계되었으며, 사용이 편리한 직관적인 인터페이스를 제공합니다. 또한 안정성과 정확성이 중요한 클린 룸 (clean room), 온도 조절 챔버 (temperature controlled chamber) 와 같은 까다로운 어플리케이션에 사용하도록 설계되었습니다. 전반적으로 RUDOLPH MetaPulse 300은 포괄적이고, 파괴적이지 않고, 고정밀 웨이퍼 테스트 및 도량형 솔루션을 제공하여 모든 유형의 박막 레이어 및 기질의 특성을 측정하는 데 유용한 도구입니다.
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