판매용 중고 REVERA RVX 1000 #9383475

ID: 9383475
Film thickness measurement system.
REVERA RVX 1000 Wafer Testing and Metrology System은 집적 회로를 검사, 테스트 및 측정하고 프로세스 특성을 측정하는 데 사용되는 혁신적인 기계입니다. RVX 1000 은 고정밀 광학 이미징 (optical imaging) 을 활용하여 다양한 표면 조건과 지형에서 미세한 세부 사항까지 정확하게 감지할 수 있습니다. 또한 통합 소프트웨어 모듈을 통해 고급 결함 감지 기능을 사용할 수 있습니다. REVERA RVX 1000은 여러 개의 별개의 구성 요소로 구성되어 있습니다. 광학 헤드는 주파수 가변 다이오드 레이저를 사용하여 집중 광선을 생성합니다. 그런 다음 "레이저 '를" 샘플' 단계 로 보내어 "웨이퍼 '를 정확 하게 배치 하여 영상 을 한다. 이것은 자연 루비 (natural ruby) 와 합성 루비 (synthetic ruby) 가 장착 된 고효율 다축 시스템에 의해 수행되며, 이는 빔이 샘플 표면에 정확하게 정렬되도록 보장합니다. 그런 다음 레이저 (laser) 와 스테이지의 결합 특성이 스팟 크기 센서 (spot size sensor) 로 전송됩니다. 이는 웨이퍼의 고해상도 이미징을 나노미터 스케일까지 제공합니다. "레이저 '의 강도는 다양한 조건과 샘플 (sample) 유형에 맞게 조정이 가능하며, 스테이지 (stage) 는 렌즈 손상을 방지하기 위한 안전 모드 기능도 갖추고 있다. 그런 다음 RVX 1000에서 획득한 이미지는 PCI 호환 고성능 소프트웨어를 통해 분석할 수 있습니다. 결함 감지는 배율 수준이 다양한 2 차원 및 3 차원 형식으로 수행 할 수 있으며, 따라서 사용자가 감지된 결함의 크기와 사용된 이미징 유형을 모두 제어 할 수 있습니다. 또한 REVERA RVX 1000에는 자동 웨이퍼 매핑 및 치수 측정을위한 특수 알고리즘이 있습니다. RVX 1000 은 집적 회로 검사 (Integrated Circuit Inspection) 및 테스트의 정확성과 신뢰성을 높이기 위해 개발된 혁신적인 장비입니다. 고급 이미지 처리 (Advanced Imaging) 기술을 통해 다양한 결함 감지 (Defect Detection) 기능을 사용할 수 있으며, 강력한 소프트웨어 제품군을 통해 정확한 요구 사항을 충족할 수 있는 분석을 사용자 정의할 수 있습니다.
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