판매용 중고 NEWPORT / ROI Datastar #9211710
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NEWPORT/ROI Datastar 장비는 반도체 제작에 사용하도록 설계된 정교한 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템입니다. 이 장치는 영국 기반 엔지니어링 기술 회사 (Engineering Technology Company) 가 제조 한 고급 도량형 도구의 더 큰 네트워크의 일부입니다. 서피스 거칠기 (surface roughness), 임계 치수 (critical dimensions), 기하 공차 (geometrical tolerance) 와 같은 생산 라인에서 반도체 재료의 물리적 매개변수를 측정하고 분석하도록 설계되었습니다. 이 기계는 다양한 재료에 대한 정확한 결과와 고급 데이터 분석 (advanced data analysis) 을 제공합니다. ROI Datastar는 광학 프로파일로미터와 고정밀 CCD 카메라를 통합했으며, 둘 다 매우 정밀한 반도체 재료 특성을 측정하고 분석하도록 설계되었습니다. 광학 현미경은 미크론 레벨 (micron-level) 및 나노미터 레벨 스케일 (nanometer-level scale) 의 작은 기능을 탐지 및 분석하기 위해 유리한 해상도와 고품질 이미징을 제공합니다. 또한, 이 도구는 상세한 스캐닝 및 표면 이미징 (surface imaging) 기능을 제공하여 광범위한 물리적 매개변수를 감지하고 분석할 수 있습니다. NEWPORT Datastar는 ROI (Robotic Optical Inspection) 및 자동 결함 감지 시스템을 포함한 여러 도구 및 시스템과 호환됩니다. 이 자산은 자동화된 테스트 툴 (testing tools) 과 연동하여 테스트 데이터의 정확성과 반복성을 극대화합니다. 또한, 광범위한 형식으로 데이터를 수집하고 테스트 결과를 철저히 처리 (processing) 할 수 있습니다. 데이터 스타 (Datastar) 의 고급 측정 기능은 반도체 재료의 품질과 신뢰성을 향상시키는 데 사용됩니다. 이 모델은 개발 중인 다양한 통합 장치 및 장치 (예: 트랜지스터, 메모리, 저항, 전원 장치) 의 물리적 특성을 측정 할 수 있습니다. 또한 NEWPORT/ROI Datastar 는 다양한 데이터 분석 툴을 제공하여 테스트 결과를 다른 테스트 디바이스 매개변수와 비교하여 해석할 수 있습니다. 이 장비의 다재다능성과 정확성은 고품질 반도체 소재의 생산에 귀중한 도구라는 것을 의미합니다 (영문). 신뢰성 있는 결과 와 상세 한 "메트릭 '은 최고 의 수율 과 질 의 수준 을 달성 할 수 있게 해 준다. 또한, 이 시스템은 사용하기 쉽고 유지보수 (maintenance) 되어 인기와 낮은 TCO (총 소유 비용) 에 기여합니다.
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