판매용 중고 KOBELCO / LEO LER #293642527

KOBELCO/LEO LER는 반도체를위한 첨단 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 시스템은 웨이퍼 제조 과정에서 웨이퍼를 정확하게 분석하고 검사하도록 설계되었습니다. 최첨단 기술을 활용하여 매우 정밀한 웨이퍼 (wafer) 측정, 최고 품질을 보장합니다. LEO LER는 반음계 제어, 간섭법, 주사 전자 현미경 등 다양한 도량형 측정을 사용합니다. 반음계 제어 (Chromatic control) 는 샘플의 색상을 측정하여 웨이퍼의 결함을 식별하고 감지할 수 있습니다. 간섭계 (Interferometry) 는 회전하는 거울 (mirror) 을 사용하여 광파를 방해하여 웨이퍼의 표면 지형을 분석 할 수 있습니다. 한편, 전자 현미경 주사 (scanning electron microscopy) 는 전자를 사용하여 웨이퍼 조성의 이미지를 형성하는 영상 기술이다. 또한 KOBELCO LER 장치는 전체 웨이퍼 표면에 대한 3D 이미지를 수행 할 수 있습니다. 이것은 스캔에서 수집 한 모든 도량형 측정 및 데이터를 결합하여 수행됩니다. 그런 다음 기계는 결함, 표면 이상, 웨이퍼에 존재하는 다른 재료를 감지 할 수 있습니다. 또한 피쳐의 두께 및 방향 (예: 게이트, 스페이서 선) 을 측정할 수 있습니다. 또한 LER 는 다양한 고급 기능을 구현하여 높은 정확도와 신뢰성을 보장합니다. 예를 들어, 이 도구는 자동 결함 검사 (automatic defect inspection) 기능을 사용하여 운영자가 프로세스를 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. 또한, 일관된 결과와 정확성을 보장하기 위해 포괄적인 웨이퍼 ID 인식 자산이 구현됩니다. 전반적으로, KOBELCO/LEO LER는 반도체 웨이퍼에 대한 포괄적이고 정확한 분석을 제공하는 엄청나게 발전된 모델입니다. 이 장비는 강력한 도량형 측정 (metrology measurement) 과 고급 기능 (advanced features) 을 통해 신뢰할 수 있고 정확한 웨이퍼 테스트 및 검사 수단을 제공합니다.