판매용 중고 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Optiprobe 2600 #9212840
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ID: 9212840
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1995
Film thickness measurement system, 8"
Handler type: 200 mm Open
Upgraded SBC to Pentium III 600 MHz
Increased HDD capacity to 6 Giga
Non-pattern measurement
Measurement tool: BPR, BPE, VAS
1995 vintage.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Optiprobe 2600은 고급 웨이퍼 테스트 및 계측 장비로, 다양한 반도체 웨이퍼 표면에서 전기 특성의 변동에 대한 높은 정밀 측정이 가능합니다. 이 시스템은 측정 과정을 자동화하도록 설계되었으며, 수동 현미경으로 수동 검사하는 것보다 훨씬 효율적이고, 정확합니다. KLA Optiprobe 2600 (Optiprobe 2600) 에는 운영 프로세스를 간소화하고 더 나은 결과를 제공하는 내장 비전 장치가 장착되어 있습니다. TENCOR Optiprobe 2600은 Imaging Module, Tester Module 및 Measurement Module의 세 가지 모듈로 구성됩니다. 이미징 모듈 (Imaging Module) 에는 웨이퍼 표면의 결함을 이미징 및 검사하는 CCD 카메라가 있습니다. 테스터 모듈 (Tester Module) 에는 여러 서브 테스터 위치에서 동시에 다양한 전기 테스트를 제공 할 수있는 테스트 챔버가 있습니다. 측정 모듈 (Measurement Module) 은 효율적이고 정확한 테스트 및 도량형 작업을 위해 필요한 모든 구성 요소를 구성하는 통합 측정 솔루션입니다. THERMA-WAVE Optiprobe 2600 플랫폼에는 KLA WINTEST 소프트웨어도 장착되어 있어 테스트 프로세스를 자동화할 수 있습니다. WINTEST 소프트웨어를 사용하여 기계 매개변수 설정, 테스트 프로세스 제어, 측정 데이터 분석, 다중 테스트 설정 (multiple testing setup) 을 구성할 수 있습니다. 또한 Optiprobe 2600은 업계 표준 TENCOR S2K 소프트웨어와 완벽하게 호환되도록 설계되었으며, 따라서 고객은 다양한 분야에서 동일한 소프트웨어를 사용할 수 있습니다. KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Optiprobe 2600은 정밀 측정 해상도가 0.02 äm인 정확한 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 단일, 이중, 다중 레이어 웨이퍼 등 다양한 웨이퍼 유형을 테스트할 수 있습니다. 또한, KLA Optiprobe 2600은 표면 프로파일 테스트 및 도량형을 위해 가장 까다로운 프로덕션 환경에서 프로세스 및 검증 모니터링에 적합합니다. TENCOR Optiprobe 2600은 웨이퍼 테스트 및 도량형에서 최고의 성능을 제공합니다. 테스트 및 도량형 작업의 효율성을 극대화하는 한편, 안정적이고 정확한 측정이 가능합니다. 이 도구 는 "웨이퍼 '를 검사 하는 능률적 이고 효과적 인 방법 을 찾는 교수, 공정" 엔지니어' 및 기타 반도체 전문가 들 에게 이상적 이다.
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