판매용 중고 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE Optiprobe 2600 #293671329

ID: 293671329
Film thickness measurement system.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Optiprobe 2600 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비 (Metrology Equipment) 는 반도체 제작 프로세스의 모니터링 및 프로세스 제어를 위해 설계된 신뢰할 수 있는 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 시스템입니다. KLA Optiprobe 2600 (Optiprobe 2600) 에는 고해상도와 정확도로 웨이퍼를 분석할 수 있는 고급 옵티컬 이미징 장치가 장착되어 있습니다. 고급 광학 이미징 머신에는 점 검사, 서피스 이미징, 레이저 매핑, 입자 측정 등 다양한 방법론이 있어 피쳐 크기, 레이어 두께, 서피스 거칠기 (surface roughness) 를 특성화합니다. 텐코 옵티프로브 2600 (TENCOR Optiprobe 2600) 에 의해 생성된 웨이퍼 맵에는 웨이퍼의 다양한 특성에 대한 요약 보기와 각 단위의 개별 측정에 대한 다른 디스플레이가 포함됩니다. 측정 결과 (Measurement Result) 를 표시하면 Wafer의 여러 부분에서 성능 변화 영역을 신속하게 파악할 수 있습니다. 웨이퍼의 품질과 균일성을 더욱 강화하기 위해 THERMA-WAVE Optiprobe 2600에는 강력한 데이터 분석 소프트웨어 패키지가 포함되어 있습니다. 이 데이터 분석 소프트웨어 (data analysis software) 는 이상, 오염 및 프로세스 이동에 대한 웨이퍼 맵을 분석하는 포괄적인 툴을 제공합니다. 또한 소프트웨어 패키지 (software package) 는 광범위한 파일 형식을 지원하므로 외부 프로세스 제어 (process control) 매개변수와 분석을 쉽게 통합할 수 있습니다. Optiprobe 2600은 고급 프로세스 모니터링 및 제어를 위해 다양한 SEM (Scanning Electron Microscopes) 과도 호환됩니다. SPM (스캐닝 프로브 현미경) 이 반도체 제작 과정에서 표면 질감의 최고 해상도를 측정하는 것으로 알려진 SEM과 KLA/TENCOR/THERMA-WAVE Optiprobe 2600의 조합. KLA Optiprobe 2600 은 포괄적인 테스트 분석 툴을 제공하는 것은 물론, 사용이 간편한 툴입니다. 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 는 직관적이며 다른 측정 디스플레이에 빠르게 액세스할 수 있습니다. 즉, 사용자는 운영 문제를 신속하게 진단하고 시정 조치를 취할 수 있습니다. TENCOR Optiprobe 2600 (Optiprobe 2600) 은 신뢰할 수 있는 고급 웨이퍼 테스트 및 도량형 자산으로, 반도체 제조업체가 생산 프로세스를 보다 쉽게 모니터링하고 최고 품질의 제품을 보장합니다. THERMA-WAVE Optiprobe 2600은 Optical Imaging Model, 데이터 분석 기능, SEM과의 호환성을 통해 Wafer Manufacturing 프로세스를 효율적으로 모니터링할 수 있습니다.
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