판매용 중고 KLA / TENCOR / THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600 DUV #9212839
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ID: 9212839
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1996
Thickness measurement system, 8"
Upgraded SBC to Pentium III 600 MHz
Measurement tool: BPR, BPE, VAS + DUV
1996 vintage.
KLA/TENCOR/THERMA-WAVE OPTIPROBE 2600 DUV는 고급 반도체 장치 연구 및 제조를 위해 설계된 웨이퍼 테스트 및 도량형 장비입니다. 이 최첨단 시스템은 최첨단 광학 기술을 활용하여 제작 과정에서 웨이퍼를 검사하고 분석합니다. 파퍼 (wafer) 표면의 유전체 두께, 지형 및 기타 상세 구조의 정확한 측정을 제공합니다. KLA OPTIPROBE 2600 DUV 는 효율적이고 컴팩트한 설치 공간을 갖춘 고도로 통합된 유닛으로, 클린 룸 (Clean Room) 과 프로덕션 라인 (Production Line) 환경 모두에 적합합니다. 동적 초점 광학 장치 (Dynamic Focus Optic) 와 자동 전송 머신 (Automated Transport Machine) 이 장착되어 있어 빠르고 정확한 측정이 가능합니다. 이 도구는 또한 독점 특허를 획득한 통합 이미징 탐지기 (Integrated Imaging Detector) 기술을 통해 기록적인 속도로 고해상도 이미지를 캡처합니다. 에셋은 비파괴 유전체 두께, 지형, 광학 상수, 잔여 두께, 표면 거칠기, 지리 측정 매개변수, 필름 응력 및 3D 선/공간 형태 측정을 포함하여 웨이퍼 표면 도량형과 관련된 광범위한 응용 프로그램을 지원합니다. 엔지니어와 제품 매니저 (Product Manager) 가 제조 문제를 파악하고 신속하게 해결하는 데 도움이 되는 중요한 피드백을 제공합니다. TENCOR OPTIPROBE 2600DUV는 EUV (Extreme UV) 리소그래피 측정을 지원하는 최초의 모델로, 고급 반도체 장치 연구 및 제작을위한 필수 도구입니다. 레이저 간섭법 (Laser Interferometry) 과 인공물 샘플을 활용하여 안정적이고 반복 가능한 측정을 보장하는 자동 교정 장비를 갖도록 설계되었습니다. 이 최고급 시스템 (Top-of-the-Line System) 은 최고 속도와 정확도로 복잡한 측정을 수행할 수 있으며, 현대 반도체 장치 연구 및 생산 과정에서 필수적인 도구입니다. 강력한 자동화 하위 시스템, 효율적인 운영 및 높은 정확성으로 OPTIPROBE 2600 DUV는 최고 성능의 반도체 제품을 제조하는 데 이상적인 솔루션입니다.
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